硅光子技術(shù)是在硅材料的基礎(chǔ)上,利用現(xiàn)有CMOS工藝進(jìn)行光器件的開發(fā)和集成的新一代技術(shù), 其肇始于1985 年 Richard Scoref 等人提出的理論——單晶硅可以作為光波導(dǎo)材料,可用于微電子應(yīng)用同時實現(xiàn)光信號傳遞。
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