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[導讀]日本政府于7月1日公布,要加強對韓國的出口管理,7月4日發(fā)起了“氟化聚酰亞胺(Polymide)”、“EUV Resist(光阻劑)”、“氟化氫”三種半導體材料的出口限制。根據(jù)此次出口限制,日本經(jīng)濟產(chǎn)

日本政府于7月1日公布,要加強對韓國的出口管理,7月4日發(fā)起了“氟化聚酰亞胺(Polymide)”、“EUV Resist(光阻劑)”、“氟化氫”三種半導體材料的出口限制。根據(jù)此次出口限制,日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)部對以上3種材料出口的審核最多需要3個月的時間。

6月末也是在大阪召開G20結(jié)束的時間,此次出口限制可謂是對韓國企業(yè)的一次“偷襲”!此次“偷襲”使人想起了第二次世界大戰(zhàn)時的“日本偷襲珍珠港”。

半導體材料庫存僅有1個月左右的三星電子和SK Hynix(海力士)在7月1日-3日期間強烈要求日本企業(yè)提供3個月用量的“EUV Resist(光阻劑)”、“氟化氫”,無法應對這種無理要求的日本材料廠商一度陷入了混亂。 而且,終于在8月2日,日本內(nèi)閣政府決定把韓國從“白名單”上移除!為此,8月28日以后,關(guān)于對韓出口,幾乎所有的產(chǎn)品名目都要接受日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)部的單獨審核。(日本經(jīng)濟新聞、8月3日) 為此,韓國政府在推進向世界貿(mào)易組織(WTO)提出申訴準備的同時,文在寅大總統(tǒng)也表示說“針對日本的不正當經(jīng)濟報復行為,我們會采取果斷措施”!洪楠基經(jīng)濟副相兼企劃財政相也表示說:“韓國也會把日本從‘優(yōu)惠國’名單上除名,加強管理對日出口!” 可以說日韓兩國已經(jīng)陷入了“全面戰(zhàn)爭”階段!此次日韓戰(zhàn)爭究竟會給兩國帶來什么損害呢?此外,會給電子設備、通信儀器帶來什么影響呢?本文將就短期影響、長期影響進行分析。 此外,筆者對于日韓兩國的政治不做任何評價,僅對由日韓兩國政府發(fā)動的出口限制引起的對技術(shù)、產(chǎn)品、產(chǎn)業(yè)的影響,進行分析。

短期的影響~~半導體工廠停止稼動

7月4日以后,“氟化聚酰亞胺(Polymide)”、“EUV Resist(光阻劑)”、“氟化氫”三種材料已經(jīng)成為出口限制對象!如文章開頭所述,三星電子等廠商的材料庫存僅有1個月左右,因此,本月內(nèi)半導體工廠可能停止稼動!其影響如下表1所示。


表1:日本政府的限制對韓出口的影響。(表格出自:jbpress)

如果“氟化聚酰亞胺(Polymide)”的庫存為零,LG電子就無法生產(chǎn)有機EL電視。而且,如果“EUV Resist(光阻劑)”沒有庫存,三星電子就無法生產(chǎn)7nm工藝(Process)的尖端邏輯(Logic)半導體,因此,三星電子的最新款智能手機“GALAXY”的生產(chǎn)也將被延誤。對于當今量產(chǎn)中的尖端DRAM,幾乎沒有影響,新一代DRAM的開發(fā)將會受挫! 而且,波及影響最廣的材料是“氟化氫”!用于清洗半導體的藥水“氟化氫”的在庫為零的話,邏輯半導體、DRAM和NAND等存儲半導體、有機EL 面板(Panel)等都將無法生產(chǎn)! 特別是,三星電子和SK Hynix的DRAM全球合計占比為72.6%,NAND的全球合計占比為39.4%,DRAM和NAND的生產(chǎn)僅僅停止1-2月的話,全球電子設備、通信設備行業(yè)將會陷入巨大的混亂。 如上文所述,停止生產(chǎn)DRAM的影響(Impact)十分驚人!假如2個月不出貨,將會對2億3,000萬部的智能手機(14多億部)、4,300萬臺電腦(2億6,000萬臺)、2,500萬臺平板、2,785個SSD(1億6,715萬個)、217萬臺服務器(1,300萬臺)、以及各種數(shù)碼家電產(chǎn)生影響(括號內(nèi)為2018年的總出貨數(shù)量)。 關(guān)于此處的SSD(Solid State Drive),一言以蔽之,最近的SSD都采用了NAND、控制器(Controller)、DRAM。因此,如果無法生產(chǎn)DRAM,也就無法生產(chǎn)SSD,于是,也無法生產(chǎn)PC、服務器(Server)。

美國企業(yè)也將“受害”

如上文所述,如果沒有“氟化氫”,半導體工廠將會停工!如果無法生產(chǎn)DRAM、NAND,需要存儲半導體的各種電子設備、通信設備都將受到影響。 在此之前,如果半導體工廠停止稼動,硅晶圓(Silicon Wafer)、EUV以外的光刻膠(Resist)(分用于i線、KrF、KrF Dry、ArF浸泡溶液)、CMP拋光液(Slurry)、氟化氫以外的藥劑、用于干蝕刻(Dry Etching)和CVD的各種氣體的業(yè)務也將會消失。 而且,DRAM、NAND的出貨停止的話,Apple、Huawei等智能手機廠商、美國HP和Dell等PC以及服務器廠商(Server Maker)、Amazon、Microsoft、Google等云廠商(Cloud Maker)的業(yè)務也將受到影響。 簡而言之,僅僅三星電子、SK Hynix的氟化氫的在庫為零,就可以對全球的電子設備、通信設備造成極大的影響!

短時間內(nèi)無法找到氟化氫的代替物

當前社會上有一些人說,用臺灣、中國、俄羅斯等地產(chǎn)的氟化氫代替日本的氟化氫不就可以了嗎?然而代替不是那么容易的!下面進行說明。 半導體的生產(chǎn)有500~1,000個工序,使用氟化氫的清洗、晶圓蝕刻(Wafer Etching)工序約占10%。比方說,有1,000個工序,其中約100個工序要用到氟化氫。且其中每個工序的中氟化氫的稀釋比例都不一樣,同時還添加有表面(界面)活性劑等添加劑。 一言以蔽之,關(guān)于氟化氫的使用,在半導體的每個工序中都是經(jīng)過精密地計算出來的最合適的比例,也就是所謂的“秘方(Recipe)”。而且,只有氟化氫廠商知曉這個“秘方”。總之,三星電子等半導體廠商雖然了解“秘方”的效果(Performance),然而“秘方”的內(nèi)容卻采用了作為“黑盒子(Black Box)”的氟化氫。 因此,如果使用非日本產(chǎn)的氟化氫的話,三星等半導體廠商必須與材料廠商從研發(fā)最合適的“秘方”開始著手。然而,這并不是通過簡單的“燒杯(Beaker)實驗”就能實現(xiàn)的,需要用半導體的良率來驗證以得到最合適的比例。 在同一個批號(Lot)的25個硅晶圓上制作半導體,需要2-3個月的時間。即使加急生產(chǎn)也需要好幾個星期的時間,如此反復進行實驗,開發(fā)出適合100道工序的最合適的“秘方”。而且這一“開發(fā)”在最佳情況(Best Case)下需要1年,一般需要2-3年。 如果在這期間,DRAM、NAND的生產(chǎn)停止的話,全球電子設備、通信設備的開發(fā)、生產(chǎn)也將停止。其經(jīng)濟損失無法衡量。

對生產(chǎn)設備廠商造成的損失

如果無法采購日本的氟化氫、且非日本產(chǎn)的氟化氫的“秘方”又無法開發(fā)出來的話,三星電子、SK Hynix就不得不停止設備投資。從今年(2019年)下半年開始,存儲半導體的不景氣開始出現(xiàn)好轉(zhuǎn),似乎開始出現(xiàn)了重新開始投資的跡象,然而按照目前的情況來看,接收到訂單的多數(shù)設備廠商應該會以100位單位被取消訂單。 如下圖1,是半導體前段工序、檢查工序、后段工序各種設備的企業(yè)占比和市場規(guī)模。很多設備被日本(紅色)、美國(綠色)、歐洲(黃色)所瓜分。如果,設備投資延遲、設備投入延遲的話,所有的設備廠商都將受到“傷害”。

圖1 半導體生產(chǎn)設備中的各家企業(yè)的占比(日本占比)&市場規(guī)模(2018年)。 紅色&粉色: 日本; 綠色: 美國; 黃色: 歐洲; 藍色: 韓國。 (圖片出自: 筆者根據(jù)野村證券所的數(shù)據(jù)編制的此表。 )

日本的全球占比如下:Coater Developer(93.6%)、熱處理設備(48.7%)、Batch式(90.5%)和枚葉式清洗設備(即單個清洗設備,67.3%)、測長電子顯微鏡(SEM,74.1%)、Probe(94.0%)、Dicing Machine(89.4%)、Grinder(99.3%)、測試儀(49.6%)(括號內(nèi)的數(shù)字為2018年日本設備銷售額占比)。這些日本企業(yè)遭受取消訂單的可能很高! 此外,美國、歐洲產(chǎn)的設備中也有很多零部件是日本制造的,這些日本企業(yè)也有可能受到影響。

中長期的影響~~日本對韓國的大經(jīng)濟(Big Business)將不復存在

韓國政府于7月3日發(fā)布,為支援半導體材料、設備的國產(chǎn)化,計劃每年提供1兆韓元的預算(約人民幣55.8億元)。(日本經(jīng)濟新聞,7月4日) 此外,韓國政府于8月3日召開臨時內(nèi)閣會議,針對日本政府的把韓國從“白名單”除名一事,決定立即執(zhí)行2,723億韓元(約人民幣14.4億元)的預算。韓國預測到從日本的進口會停滯,所以加快實施原從日本進口的零件、材料的多元化進口、國產(chǎn)化。(日本經(jīng)濟新聞,8月3日) 三星電子、SK Hynix等正在考慮盡可能迅速地排除成為“瓶頸(Bottle Neck)”的日本產(chǎn)的材料、設備、零件、裝置等的進口。 比方說,如圖1 所示的生產(chǎn)設備中,韓國應該會逐步改變設備的采購,Coater Developer的采購由東京電子轉(zhuǎn)向韓國的SEMES、Dry Etching設備由TEL轉(zhuǎn)向美國的Lam Research(Lam)和美國的AMAT(應用材料公司)、熱處理設備由TEL轉(zhuǎn)向AMAT、CMP由荏原制作所轉(zhuǎn)為AMAT、清洗設備由SCREEN和TEL轉(zhuǎn)向SEMES、測長SEM由日立High Technologize轉(zhuǎn)向AMAT、Probe由東京電子和東京精密轉(zhuǎn)向SEMES、測試儀由Advantest(愛德萬測試)轉(zhuǎn)向美國的Teradyne(泰瑞達)。 此外,韓國應該會考慮在國內(nèi)開發(fā)被日本占大頭的Coater Developer、Batch清洗設備、Probe、Dicing Machine、Grinder等。 其結(jié)果就是,5年后,日本產(chǎn)的硅晶圓(Silicon Wafer)、包括用于EUV的所有光刻膠(Resist)、用于CMP的拋光液(Slurry)、包括氟化氫在內(nèi)的所有藥水、用于Dry Etching 和CVD的所有其他氣體材料、所有的生產(chǎn)設備及其零部件、設備等的對韓國的大經(jīng)濟(Big Business)很有可能不復存在。

韓國可能無法向日本銷售DRAM、SSD

一方面,韓國的半導體廠商依存于很多日本產(chǎn)的材料、設備;另一方面,日本的電子設備、通信設備也依存于韓國的存儲半導體!而且,據(jù)說,韓國媒體也報道了政府相關(guān)人士的意見:“如果韓國政府認為存儲半導體可作為韓國反攻的武器的話,也可以歸為韓國出口的限制對象”。(日本經(jīng)濟新聞,8月3日) 如果韓國政府限制對日出口DRAM的話,日本的電子設備廠商將束手無策!韓國的三星電子、SK Hynix合計占據(jù)全球的72.6%(如圖2)。其次,日本連一家DRAM 廠商也沒有!

圖2:DRAM的每個季度的各個企業(yè)的占比。(圖片出自:筆者基于DRAM eXchange、IHS、Trend Focus的數(shù)據(jù)制作了此圖。) 智能手機、PC、SSD、服務器、各種數(shù)碼家電、甚至巨型計算機(Supercomputer)如果沒有DRAM的話,什么產(chǎn)品都無法生產(chǎn)!日本唯一可以進口DRAM的對象可能是美國的Micro Technologize, 不過應該無法填補韓國產(chǎn)的DRAM量,而且尖端DRAM的研發(fā)遠遠落后于三星電子。 而且,如上所述,由于最近的SSD也采用了DRAM,因此,NAND廠商Kioxia(原東芝存儲半導體)將無法生產(chǎn)SSD。 此外,韓國的SSD出貨數(shù)量占據(jù)全球的43.3%。其中,三星電子以絕對優(yōu)勢占據(jù)33.4%,而且其SSD具有容量大、速度快、性能卓越的優(yōu)勢。

圖3:SSD的每個季度的各家企業(yè)的出貨數(shù)量。(圖片出自: 筆者基于Storage Newsletter、Trend Focus; Business Wire的數(shù)據(jù)制作了此圖。)

如果韓國政府把這樣的高性能的SSD設為出口限制對象的話,日本的很多電子設備廠商應該會陷入困境。

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