MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems)，是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

我們?yōu)榇蠹医y(tǒng)計了一下國內外生產MEMS傳感器廠家：

華芯半導體：華芯半導體成立于2004年，是一家專注于MEMS傳感器和半導體器件研發(fā)、制造和銷售的公司。其產品覆蓋了汽車電子、智能手機、醫(yī)療器械、物聯(lián)網等多個領域。華芯半導體也是國內最早的MEMS芯片生產商之一。

思嵐科技：思嵐科技成立于2007年，是一家專注于MEMS慣性傳感器、環(huán)境傳感器和磁性傳感器的研發(fā)、制造和銷售公司。其產品廣泛應用于智能家居、汽車電子、工業(yè)自動化等領域。

深圳智瑞微電子：深圳智瑞微電子成立于2007年，在MEMS傳感器和微納系統(tǒng)領域擁有較為深厚的技術積累。其產品主要應用于智能手機、消費電子以及工業(yè)自動化等領域。

歌爾微電子：成立于2017年，是我國MEMS傳感器龍頭企業(yè)歌爾股份子公司，2019年歌爾股份啟動分拆工作，將MEMS相關業(yè)務全部分拆到歌爾微電子，歌爾微成為歌爾體系內唯一從事MEMS微電子相關業(yè)務的主體，并繼承歌爾股份在MEMS領域的市場地位。歌爾微電子(歌爾股份)常年位居“中國MEMS十強”企業(yè)名單榜首，據(jù)知名半導體市場咨詢機構Yole Development 的《MEMS產業(yè)現(xiàn)狀報告》顯示，從2019年開始，歌爾微(歌爾股份)連續(xù)躋身全球10大MEMS廠商之列，也是前十名中唯一一家中國企業(yè)。在MEMS聲學傳感器(麥克風)領域，歌爾微電子于2020年超過樓氏電子成為行業(yè)第一，市場占有率居世界同行業(yè)之首，這是樓氏電子稱霸MEMS麥克風15年來首次落敗。

美泰科技是中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位，專門致力于MEMS(微電子機械系統(tǒng))器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產和銷售。連續(xù)多年榮獲“中國半導體MEMS十強企業(yè)”，是國內最大的MEMS核心芯片、器件和系統(tǒng)產品供應商，中國MEMS技術領導者。

美泰科技擁有自己的MEMS傳感器芯片產線，是一家IDM企業(yè)。2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收，用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線月產能達到1萬片。

德州儀器：德州儀器是全球領先的模擬IC、數(shù)字信號處理器和嵌入式處理器制造商之一，也是MEMS芯片領域的知名企業(yè)。其產品主要涵蓋了慣性傳感器、環(huán)境傳感器和聲學傳感器等。

STMicroelectronics：STMicroelectronics是全球領先的半導體生產商之一，其MEMS芯片產品主要包括了加速度傳感器、陀螺儀、慣性導航系統(tǒng)和環(huán)境傳感器等。其涉及的領域包括智能手機、電子手表、智能家居以及汽車電子等。

NXP,恩智浦提供基于微機電系統(tǒng)(MEMS) 的差異化加速度傳感器產品組合，以滿足汽車、醫(yī)療健康和工業(yè)領域日益增長的需求。我們的加速度傳感器走在行業(yè)前沿，引領計量與節(jié)能、量化健康、安全與監(jiān)控、可穿戴設備以及家居便捷化等新興應用。