基于MEMS的系統(tǒng)可以顯著提高髖關節(jié)和膝關節(jié)植入體與病人骨骼結構的對準精度，減輕不舒適感，從而避免進行修正手術。

導航通常與汽車、卡車、飛機、輪船，當然還有人相關。但是，它也開始在醫(yī)療技術領域發(fā)揮重要作用，精密手術儀器和機器人就需要使用導航。手術導航工具的設計要求與傳統(tǒng)的車輛導航具有廣泛的共同點，但前者也提出了一些獨特的挑戰(zhàn)(例如，由于是在室內使用，無法獲得GPS支持)，需要更高的性能。

本文將研究醫(yī)療導航應用的獨特挑戰(zhàn)，并且探討可能的解決方案——從傳感器機制到系統(tǒng)特性。首先將回顧傳感器的一些重要性能指標，以及在傳感器選型中應當考慮的潛在誤差和漂移機制。本文還會重點介紹通過集成、融合和處理來增強傳感器的方法，例如通過采用卡爾曼濾波。然而，在展開詳細論述之前，回顧慣性微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器技術的一些基本原理可能會有幫助。

MEMS基本原理

一度被認為是奇思異想的MEMS技術，現已成為我們大多數人每天都會碰到的成熟技術。它使我們的汽車更加安全，增強了手機的可用性，能夠測量和優(yōu)化工具及運動設備的性能，并且不斷提高對住院病人和門診病人的醫(yī)療護理水平。

用于線性運動檢測的MEMS器件通常是基于一個微加工的多晶硅表面結構，該結構形成于硅晶圓之上，通過多晶硅彈簧懸掛在晶圓的表面上，提供對加速度力的阻力。在加速度下，MEMS軸的偏轉由一個差分電容測量，該差分電容由獨立固定板和活動質量連接板組成。這樣，運動使差分電容失衡，導致傳感器輸出的幅度與加速度成正比。舉一個大家熟悉的例子，當汽車由于碰撞而突然急劇減速時，安全氣囊傳感器中的MEMS軸會產生同樣的運動，使得電容失衡，最終產生信號觸發(fā)安全氣囊打開。這一基本加速度計結構，根據不同的應用性能參數進行調整并增加數據處理功能后，可以精確地指示傾斜度、速度甚至位置。還有一種與此不同但技術上相關的結構是陀螺儀，它能檢測旋轉速率，輸出形式為度/秒;加速度計則是檢測重力。

將運動檢測轉化為對醫(yī)療保健有用的信息

通過一個功耗極低的緊湊器件來精確檢測和測量運動的能力，幾乎對任何涉及到運動的應用都是有價值的，甚至對那些運動要求不是很關鍵的應用也是有價值的。表I按運動類型列出了一些基本醫(yī)療應用。需要解決更多挑戰(zhàn)的更高級應用將在稍后討論。

超越簡單的運動檢測

雖然簡單的運動檢測，例如一個軸上的線性運動，可能很有價值，但多數應用都涉及到多個軸上的多種類型運動。捕捉這種多維運動狀態(tài)不僅能帶來新的好處，而且能在軸外擾動可能影響單主軸運動測量的情況下保持精度。

許多情況下，為了精確測定對象所經歷的運動，必須將多種類型(例如線性和旋轉)的傳感器結合起來。例如，加速度計對地球的重力敏感，可以用來確定傾角。換言之，讓一個MEMS加速度計在一個+/-1g重力場中旋轉時(+/-90°)，它能夠將該運動轉換為角度表示。然而，加速度計無法區(qū)分靜態(tài)加速度 (重力)與動態(tài)加速度。這種情況下，加速度計可以與陀螺儀結合，利用組合器件的附加數據處理能力可以分辨線性加速度與傾斜(即當陀螺儀的輸出顯示旋轉與加速度計記錄的視在傾斜重合時)。隨著系統(tǒng)的動態(tài)程度(運動的軸數和運動自由度)增加，傳感器融合過程會變得更加復雜。

了解環(huán)境對傳感器精度的影響也很重要。顯而易見的一個因素是溫度，可以對其進行校準;事實上，高精度傳感器可以重新校準，并且自身進行動態(tài)補償。另一個不那么明顯的考慮因素是潛在的振動，即使很輕微的振動也會使旋轉速率傳感器的精度發(fā)生偏移，這種效應稱為線性加速度效應和振動校正，其影響可能很嚴重，具體取決于陀螺儀的質量。在這種情況下，傳感器融合同樣能夠提高性能，即利用加速度計來檢測線性加速度，然后利用此信息和陀螺儀線性加速度靈敏度的校準信息進行校正。

許多應用要求多自由度的運動檢測。例如，6自由度慣性傳感器能夠同時檢測x、y、z軸上的線性加速度和旋轉運動(也稱為滾動、俯仰和偏航)，參見圖。

全運動評估所需的6自由度運動測量：x、y、z軸線性運動和滾動、俯仰、偏航角速率轉動

導航——從車輛到手術儀器

慣性傳感器在工業(yè)中用作輔助導航器件已經相當廣泛。通常，慣性傳感器與GPS等其他導航設備一起使用。當GPS訪問不可靠時，慣性導航可以利用所謂航位推算技術來彌補空隙。除了最簡單的導航之外，多數解決方案都會依賴多種類型的傳感器，在所有條件下提供所需的精度和性能。GPS、光學和磁性檢測技術已廣為認知，相關產品也很豐富。然而，每種技術都有其不足之處，即使一起使用，互相之間也不能完全補償彼此的不精確性。MEMS慣性傳感器則有可能完全補償傳感器的不精確性，因為它不存在上述干擾，并且不需要外部基礎結構：無需衛(wèi)星、磁場或相機，只需慣性。

就像車輛導航設備會發(fā)生GPS遮擋問題一樣，醫(yī)療系統(tǒng)所用的光學導航技術也會遇到視線遮擋問題。發(fā)生光學遮擋時，慣性傳感器可以執(zhí)行航位推算，從而通過冗余檢測增強系統(tǒng)的可靠性。

醫(yī)療導航

本例的目標是讓植入體與患者自然軸的對準誤差小于1°。95%以上的全膝關節(jié)置換(TKA)手術采用機械對準方法，它所產生的典型誤差為3°或更大。使用光學對準的計算機輔助方法已經開始取代一些機械程序，但可能由于設備開銷較大，推廣過程緩慢。無論使用機械對準還是光學對準，這些手術中大約 30%都會有未對準的情況(定義為3°以上的誤差)，使病人感覺不舒服，常常需要進行額外的手術。降低對準誤差的可能好處包括：縮短手術時間、增強病人舒適感以及使關節(jié)置換效果更持久。

完整多軸慣性測量單元(IMU)形式的慣性傳感器已證明能夠顯著提高TKA手術的精度。ADIS16334(圖2)等器件包含所需的全部檢測功能 ——三個線性傳感器和三個旋轉傳感器，可取代基于機械和光學的對準技術。該器件利用多種類型的傳感器和嵌入式處理來動態(tài)校正傳感器漂移，如陀螺儀的線性加速度偏移、線性和旋轉檢測的溫度漂移等。通過標準4線串行外設接口(SPI)，可以與這個相對復雜的精密傳感器套件輕松接口。

MEMS慣性傳感器可靠度高(汽車行業(yè)20年的應用歷史證明了這一點)，它在手機和視頻游戲中的成功應用說明它在商業(yè)上極具吸引力。然而，不同應用對性能的要求大不相同，適合游戲的器件并不能解決本文所述的高性能導航問題。對于導航，重要的MEMS性能指標是偏置漂移、振動影響、靈敏度和噪聲。精密工業(yè)和醫(yī)療導航所需的性能水平通常比消費電子設備所用MEMS傳感器的性能水平高出一個數量級。

大多數系統(tǒng)都會集成某種形式的卡爾曼濾波器，以便有效合并多種類型的傳感器?？柭鼮V波器將系統(tǒng)動力學模型、傳感器相對精度和其他特定應用的控制輸入納入考慮，有效確定最切合實際的運動情況。高精度慣性傳感器(低噪聲、低漂移、相對溫度/時間/振動/電源變化保持穩(wěn)定)可以降低卡爾曼濾波器的復雜度，減少所需冗余傳感器的數量，以及減少對容許系統(tǒng)工作方案的限制條件數量。

醫(yī)療MEMS的復雜性

雖然傳感器已實現各種各樣的醫(yī)療應用，從相對簡單的運動捕捉到復雜的運動分析，但醫(yī)用傳感器的高性能要求提出了復雜且涉及到大量計算的設計挑戰(zhàn)。幸運的是，解決這些新一代醫(yī)療挑戰(zhàn)所需的許多原理均基于經工業(yè)導航應用驗證的方法，包括傳感器融合和處理技術。在醫(yī)療導航領域，運動的復雜性以及精度和可靠性要求將推動多處理器、附加傳感器后處理、復雜算法、復雜測試和補償方案的發(fā)展。

在消費應用強烈追求小尺寸、低功耗、多軸慣性傳感器的同時，某些開發(fā)人員同樣重視能夠在各種環(huán)境條件下穩(wěn)定可靠的高精度、低功耗、高性能傳感器。與現有測量和檢測技術相比，這些慣性MEMS器件在精度、尺寸、功耗、冗余度和可及性上均有優(yōu)勢。

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