2602型雙通道系統(tǒng)源表[1]

并行I-V測試[2]系統(tǒng)――適用于復雜器件的多個DUT測試或多通道測試的系統(tǒng)。對此類DUT的測試，速度取決于儀器、應用程序以及在施加激勵源后DUT達到穩(wěn)定響應時所需的時間（過早的測量將產生錯誤結果）。在現有的并行測試系統(tǒng)設計中碰到的限制包括順序多通道源[3]－測量設計而不是同步的多通道源－測量、有限的電壓或電流量程、靈活性不夠、體積龐大以及高成本等（因為這些系統(tǒng)可能過度重視從基礎設計開始、儀表的靈敏度、或較高程度地為用戶定制設計）。

可隨意組合的多通道系統(tǒng)[4]――不同于其它兩種結構，它通常包括多種儀器來測試復雜的器件。兩種最常見的可隨意組合的多通道系統(tǒng)為（a）集成的功能測試機臺和（b）采用開放式API（應用程序接口）架構儀器構建的I-V測試系統(tǒng)。

開放式API接口是指采用模塊化結構的儀器產品，非常方便構建定制的測試系統(tǒng)方案；與半導體參數測試機臺不同，它是一個完全預先裝配好的完整系統(tǒng)。在這兩種結構中，SMU通常都是核心部件，當然也可能包含其他設備，如信號發(fā)生器、示波器、頻譜分析儀[5]、程控開關等。

當SMU作為參數測試機臺或其它成套測試系統(tǒng)的內部模塊時，一般將寬帶儀器作為外部添加設備。不管是哪種情況，最理想的是實現儀器的無縫集成，以獲得多通道高速I-V測試解決方案。成套測試系統(tǒng)（交鑰匙工程）的優(yōu)勢在于，已經為用戶進行了許多的軟硬件集成，且仍能提供一定程度的靈活性；其缺點是成本相對較高。相反，開放式API系統(tǒng)可獲得高度的靈活性，并且成本會更加低廉，當然這與具體的應用和儀器特性直接相關。