北京，中國 - Media OutReach - 二零二一年一月二十日 - Advanced Energy Industries, Inc. 一直致力于開發(fā)各種先進的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司推出一款全新的 Paramount HP 10013 射頻電源。新產(chǎn)品推出之后，該公司旗艦產(chǎn)品 Paramount RF (射頻) 電源系列將會有更多型號可供選擇。

Advanced Energy 的等離子工藝設(shè)備電源系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體蝕刻、介電質(zhì)蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導(dǎo)體和等離子薄膜工藝設(shè)備，Paramount HP 10013 沿用這種在市場一直居領(lǐng)導(dǎo)地位的等離子工藝電源技術(shù)，但性能則有進一步的提升，例如：Paramount HP 10013 可確保 Paramount 13.56MHz 平臺提供高達10kW的輸出功率，優(yōu)點是能以較低的平均功率提供高能脈沖，以確保脈沖功率的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。較高的功率可提升等離子密度和離子能量，以便支持更快更深的等離子蝕刻工藝步驟以及縮短沉積工藝時間，以滿足先進的高深寬比蝕刻工藝和新一代應(yīng)用的要求。

Advanced Energy 半導(dǎo)體及計算產(chǎn)品高級副總裁 Peter Gillespie 表示：「目前市場上的許多產(chǎn)品，包括消費產(chǎn)品，娛樂設(shè)備、工業(yè)制品、計算系統(tǒng)以及運輸工具，幾乎全部都要采用集成電路。按照這個發(fā)展趨勢看，高精度工藝設(shè)備電源系統(tǒng)的應(yīng)用將會越來越廣泛。我們的產(chǎn)業(yè)必須滿足這些不斷增加的需求，克服各式各樣的挑戰(zhàn)。Advanced Energy 的Paramount產(chǎn)品系列率先采用脈沖射頻技術(shù)，是業(yè)內(nèi)首系列可批量生產(chǎn)的全數(shù)字射頻電源系統(tǒng)。Advanced Energy 今次推出更高功率的產(chǎn)品，讓我們的客戶可以利用創(chuàng)新的技術(shù)開發(fā)更為復(fù)雜的三維度系統(tǒng)架構(gòu)和全新的物料。」

Paramount平臺的數(shù)字架構(gòu)可支持精確的電源管理，而且無需更換硬件便可更快將新的功能集成一起。全數(shù)字控制功能可以追蹤等離子變化作出動態(tài)及實時的檢測，而且可以提供大功率的輸出，并確保性能的可重復(fù)性。內(nèi)置的數(shù)字接口可確保平臺與其他射頻電源同步操作，也可無縫連接 Advanced Energy 一系列領(lǐng)先同業(yè)的 Navigator 和 Navigator II 數(shù)字匹配網(wǎng)絡(luò)。Paramount系列平臺是目前半導(dǎo)體業(yè)最受歡迎的等離子工藝設(shè)備電源解決方案。