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[導讀]在芯片的大部分歷史中,硅一直是其主要組成部分。這在很大程度上是因為硅擁有1.1電子伏特(eV)的“Goldilocks”帶隙,這使得硅可以在低電壓下運轉(zhuǎn)集成電路,減少電流泄漏。

在芯片的大部分歷史中,硅一直是其主要組成部分。這在很大程度上是因為硅擁有1.1電子伏特(eV)的“Goldilocks”帶隙,這使得硅可以在低電壓下運轉(zhuǎn)集成電路,減少電流泄漏。

硅的另一個主要特征是,它可以用于制造氧化硅形式的實用“天然”絕緣體。在高介電薄膜十年前接管絕緣體這一工作之前,氧化硅一直成功用作多代芯片硅電路的絕緣體,分離組件并減少柵漏電流。

目前,斯坦福大學和SLAC國家加速器實驗室的研究人員發(fā)現(xiàn),一些最受歡迎的高介電質(zhì)材料——即硒化鉿(HfSe2)和硒化鋯(ZrSe2)——在他們薄到二維(2D)材料時,都擁有與硅相同的完美帶隙。因此,斯坦福大學的研究人員發(fā)現(xiàn),便攜硅/二氧化硅組合的二維材料版實現(xiàn)了世代的芯片設計。但在這種情況下,這種組合會縮小十倍。

Science Advances雜志的研究表明,斯坦福大學的科學家們發(fā)現(xiàn),當知名優(yōu)良的高介電薄膜HfSe2和ZrSe2被減薄到一個大約三個原子厚的單層時,它們會保持一個約1電子伏特的中等帶隙。這與硅和其他“基極”3D半導體形成鮮明對比,當這些半導體被減薄到約5納米以下時,它們的載流子遷移率開始降低,帶隙開始增加。

“我們制造了幾個裝置(晶體管)”,斯坦福大學副教授兼研究合著者Eric Pop在IEEE Spectrum電子郵件采訪中說,“高介電薄膜作為柵極絕緣層和保護層防止陷阱和缺陷。換句話說,‘原生’高介電薄膜為晶體管操作提供了改進的半導體界面。”

典型的金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)組成了大多數(shù)現(xiàn)代集成電路的基本構(gòu)建塊。MOSFET由柵極,源極和漏極組成?;旧?,MOSFET是一個開關,來自柵極的電壓導通或關閉源極和漏極之間的電流。

長期以來,MOSFET的設計包括在半導體的表面上放置絕緣層,然后將金屬柵極放置在半導體頂部。當晶體管接通時,薄的絕緣層將晶體管的柵極與電流流過的溝道進行電隔離。硅用作半導體,氧化硅用作絕緣體。但隨著芯片尺寸的不斷縮小,不得不將硅氧化物制作的很薄,所以它不再是有效的絕緣體,就在這時,行業(yè)便將目光投向高介電薄膜。

“K”表示介電常數(shù),指的是材料集中電場的能力。當絕緣體的介電常數(shù)更高時,它可以為相同厚度的絕緣體提供兩個導電板之間增加的電流容量——存儲更多的電荷。

隨著芯片不斷縮小,雖然高介電薄膜有助于克服絕緣體問題,但這些材料并非硅的“原生”材料(只有二氧化硅才是)。因此,為了處理每種材料原子結(jié)構(gòu)之間的失配,在沉積之前仍然需要另一個“緩沖層”(如二氧化硅)。

Pop說:“在獲得原生高介電薄膜之前,特別是與2D材料相結(jié)合的,我們可以設計極薄的(納米)晶體管,這種晶體管也可以制造得非常短(就柵極長度而言)。高介電薄膜還可以確保,對于這種晶體管而言,低電壓操作是毫無問題的。我們估計,使用這些2D材料的最短晶體管可能比使用硅,甚至是硅和高介電質(zhì)材料的要小十倍。”

根據(jù)Pop的說法,為了讓這種方法真正成為商業(yè)解決方案,HfSe2和ZrSe2薄膜需要達到大面積晶圓的規(guī)模,擁有均勻的厚度和結(jié)晶度。此外,需要更好地控制氧化步驟(或任何其他氧化物沉積),確保良好的均勻性,高質(zhì)量絕緣的高介電薄膜。

Pop補充說:“最后,我們需要改進這種晶體管的電觸點。這是不足為奇的,因為對于任何超薄材料(包括其他2D材料或非常薄的硅)而言,制作高質(zhì)量的電觸點是極具挑戰(zhàn)性的。”

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