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[導讀]好德科技代理美國n&k量測機臺,推出n&k全新系列產品n&k Olympian OCD全自動量測系統(tǒng),可應用于半導體、微機電、3D IC產業(yè)之CD、深度、膜厚、洞孔底部殘留等量測應用,并在本屆半導體展中展出。 好德科技先進科

好德科技代理美國n&k量測機臺,推出n&k全新系列產品n&k Olympian OCD全自動量測系統(tǒng),可應用于半導體微機電、3D IC產業(yè)之CD、深度、膜厚、洞孔底部殘留等量測應用,并在本屆半導體展中展出。
好德科技先進科技事業(yè)處處長江偉綸表示,n&k Olympian的全新光學架構,其光源之波長范為可從190nm~15,200nm,含括短波長UV光源至IR長波長光源,并搭配n&k創(chuàng)辦人Dr. Forouhi & Dr. Bloomer所共同創(chuàng)立的F-B方程式,其膜厚之量測范圍可從數個A~數百個um,深度部分可量測達數百個um深,其應用產業(yè)可從半導體前段至后段量測 制程,微機電產業(yè),3D IC等。n&k OCD非破壞式量測設備其主要的優(yōu)點在于對晶圓廠制程的掌控,并用In line的方式做在線及時量測,避免使用相當耗時與耗成本的人工切片,讓前后段晶圓廠省下極為可觀的成本,并協(xié)助將制程優(yōu)化。



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