“抱團”參加制博會亮出百款新產品

9月14日，第十二屆中國國際裝備制造業(yè)博覽會（簡稱制博會）W1館入門處一個展館——沈陽國家IC裝備高新技術產業(yè)化基地展區(qū)，吸引了許多專業(yè)人士的目光。在300多平方米的展區(qū)內，包括沈陽新松機器人、沈陽芯源微電子設備、沈陽富創(chuàng)精密設備、沈陽儀表科學院有限公司等11家IC裝備骨干企業(yè)攜帶百余款新產品“抱團”亮相，為制博會增添了濃濃的科技色彩。

在新松公司展臺前，一個2米多高的機器人正在搬運玻璃，隨著機器人“爪子”的上下左右擺動工作，1塊1米見方的玻璃板被一臺搬運機器人自如地“玩轉”于股掌之中。展會上，新松公司展示了3款產品，除了這款搬運機器人，還有潔凈類機器人兩款產品，代表了當今中國機器人發(fā)展水平。

沈陽圣仁電子科技有限公司展出了6款具有自主知識產權全手工制作的探針卡，均為國內首創(chuàng)產品。探針卡是用于檢測芯片的液晶面板，屬于一種工業(yè)耗材。各類電子芯片的檢測都離不開它。沈陽中科博微自動化技術有限公司今年是第一次參與國內展覽，在現(xiàn)場，工作人員展示了其自主研發(fā)的鍋爐專用控制系統(tǒng)，這種控制系統(tǒng)用在燃氣鍋爐上，最大特點是能夠根據(jù)環(huán)境的變化控制鍋爐的溫度。

在沈陽芯源微電子設備有限公司展臺，一臺新型的勻膠顯影儀吸引了一群觀眾。工作人員介紹，勻膠顯影儀是為芯片進行涂膠和曝光的設備，是電子芯片生產產業(yè)鏈中不可缺少的一個環(huán)節(jié)。沈陽儀表科學研究院有限公司也拿出了自己的最新產品——ZSH508自動砂輪劃片機，用于切割半導體元件、晶圓、硅片等，是半導體軟件制造產業(yè)中重要的生產設備。

“300平方米展臺，盡管只占本次制博會展覽10萬平方米展臺非常小的部分，卻代表著產業(yè)發(fā)展方向，是提升沈陽裝備制造業(yè)的重要力量。”參觀完沈陽國家IC裝備高新技術產業(yè)化基地展區(qū)后，一位中科院沈陽自動化研究所的老專家深有感觸地說。