[導讀]臺灣感測器廠商正全力拓展MEMS市場商機。為迎頭趕上意法半導體、應美盛等國際大廠，國內MEMS業(yè)者正積極與臺積電、工研院進行深入的技術合作，以提升加速度計與陀螺儀產品競爭力，并計畫透過策略聯盟方式，切入多軸解
臺灣感測器廠商正全力拓展MEMS市場商機。為迎頭趕上意法半導體、應美盛等國際大廠，國內MEMS業(yè)者正積極與臺積電、工研院進行深入的技術合作，以提升加速度計與陀螺儀產品競爭力，并計畫透過策略聯盟方式，切入多軸解決方案市場。
臺灣微機電系統(tǒng)(MEMS)供應商在練兵多年后，已開始在市場上嶄露頭角。透過產研界合作，臺灣業(yè)者正逐步提升MEMS產品最關鍵的制程技術，且攜手晶圓制造商建構虛擬整合元件制造商(IDM)營運模式，冀望藉由臺灣半導體制造的優(yōu)勢，進一步拓展市場商機。
以臺灣MEMS感測器開發(fā)商矽立為例，透過與臺積電合作，已順利開發(fā)出三軸加速度計，并成功打進中國大陸公板平臺。
臺積電相挺矽立搶進中國市場
圖1 工研院產經中心電子與系統(tǒng)研究組零組件研究部產業(yè)分析師謝孟玹表示，透過與臺積電合作，矽立加速度計已打進中國市場。
工研院產經中心電子與系統(tǒng)研究組零組件研究部產業(yè)分析師謝孟玹(圖1)表示，國內感測器供應商以無晶圓廠IC設計公司為主，在缺乏制程技術專利及產能的支援下，對長期經營將形成挑戰(zhàn)；然而，透過與臺積電合作，能為臺廠提供堅強的MEMS代工后盾，助其打開中國大陸智慧型手機和平板電腦市場大門。
據了解，國外MEMS廠商多為IDM，專業(yè)MEMS代工業(yè)者稍一不慎，就容易誤踩專利地雷；然臺積電具有t-MEMS制程專利優(yōu)勢，可望為臺灣感測器廠商提供無后顧之憂的技術和產能，進而提升臺廠產品在中國大陸市場的能見度。
此外，由于臺灣感測器供應商面臨資金不足問題，以致研發(fā)人力與資源短缺，因而導致產品開發(fā)進度原地踏步。謝孟玹建議，臺積電、聯電等晶圓廠亦可透過轉投資的方式支援臺廠，形成「虛擬IDM」的產業(yè)型態(tài)，來厚實臺灣MEMS零組件廠商的實力，使其能與國外IDM廠商相抗衡。
其中，矽立便是臺積電轉投資臺灣感測器廠商的成功案例。透過臺積電的協(xié)助，矽立以單核三軸加速度計，在國外MEMS大廠環(huán)伺的激烈環(huán)境中，打進中國大陸三大公板平臺之一，成功搶下一席之地。
然而，謝孟玹不諱言，現今臺灣感測器廠商的產品推出情形，仍處于牛步階段，目前在中國大陸開始出貨的廠商只有兩家，除了矽立之外，另一家利順精密現僅吃下白牌平板市場，再加上國內MEMS廠的產品線，大多只以一款加速度計為主，產品組合不完整且同質性高，短期內難以搶攻加速度計加磁力計的六軸MEMS市場。
謝孟玹認為，臺灣感測器廠商未來可透過產品線互補的方式，與國內或國外其他廠商進行合作；例如具有加速度計產品的利順、矽立和合發(fā)微，可與生產磁力計的愛盛，或是與日本的磁力計廠商結盟，攜手搶進主流的中國大陸六軸MEMS市場。
除加速度計已成為臺灣感測器廠商重點布局產品外，臺灣MEMS設計商亦將進軍陀螺儀市場。在工研院南分院微系統(tǒng)中心與亞太優(yōu)勢協(xié)助下，臺灣MEMS業(yè)者已克服陀螺儀因制程復雜所帶來的控制力與精準度不佳等挑戰(zhàn)，并可望于2013年投入量產，與意法半導體(ST)、應美盛(InvenSense)等國際大廠在消費性MEMS市場一較高下。
挺進陀螺儀市場臺灣業(yè)者明年量產有譜
圖2 工研院南分院微系統(tǒng)中心主任張平表示，陀螺儀將成為下一個行動裝置標配，并促使各家MEMS業(yè)者爭相投入此一產品開發(fā)。
工研院南分院微系統(tǒng)中心主任張平(圖2)表示，繼加速度計成為智慧型手機、平板裝置等消費性電子產品的標準備配后，可精準計算重力速度方位的陀螺儀隨著價格逐步下滑，亦可望逐漸普及于各式裝置中。
盡管陀螺儀商機開始涌現，但受限于陀螺儀在制程與結構設計的門檻較加速度計高，過往臺灣業(yè)者難以量產此一元件，使得目前陀螺儀市場仍為外商所主導。張平認為，由于MEMS為高度客制化的元件，其結構高達上百種，導致制程標準難以底定，因此制造經驗的累積相當關鍵。
為協(xié)助臺灣MEMS業(yè)者實現陀螺儀產品設計，工研院南分院微系統(tǒng)中心經過10多年努力，近期已成功研發(fā)出首款電容式陀螺儀。張平透露，該款陀螺儀已投片給亞太優(yōu)勢進行小量試產，并已可提供樣品給臺灣MEMS業(yè)者進行產品設計，預計明年可望開始量產，協(xié)助臺灣MEMS產業(yè)向上升級。
據了解，目前已有三間臺灣MEMS業(yè)者獲得工研院技術轉移，具體技轉內容包括電容式加速度計與電容式陀螺儀結構、封裝、測試與制程等技術。
現階段臺灣MEMS產業(yè)在設計與量產經驗方面仍不及歐美業(yè)者，想打入國際品牌大廠的供應鏈實屬不易，如何突破此一瓶頸亦成為業(yè)界關注焦點。張平分析，對臺灣業(yè)者而言，短程目標須先求有量，再求獲利，意即犧牲一些毛利率，以換取量產經驗站穩(wěn)市場腳步；遠程目標則仍要提升產品效能，并持續(xù)開發(fā)創(chuàng)新應用元件，才是長久之計。
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