日前，由中國電子科技集團第13研究所研制的MEMS加速度傳感器突破了高精度SOI工藝加工、圓片級可調阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關鍵技術，在國際招標項目中，一舉戰(zhàn)勝美國PCB公司和瑞士奇石樂等國際知名傳感器廠商。這是國產MEMS加速度傳感器首次在國際招標中獲勝，標志著中國電科MEMS加速度傳感器已達到國際先進產品水平。

MEMS技術應用于加速度傳感器
MEMS加速度傳感器具備高精度、高分辨率（分辨率優(yōu)于10μg）、低噪聲（13所2.5μg，國外同類產品約5μg）、低功耗、低溫漂、抗過載和超小體積（體積是國外同類產品1/4）、重量小于1.2克（國外同類產品約10克）等技術特點，主要技術指標全面超越國外同類產品。