第二天，在天氣晴朗、萬里無云的早晨，我抵達了MEMS晶圓制造商Okmetic Oyj公司。

Okmetic 公司位在芬蘭的Vantaa。該地目前也正在發(fā)揮群聚效應。

在這里，我見到了Okmetic公司的兩位高階主管：

資深產品副總裁Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen，以及資深研究副總裁Markku Tilli。

從單晶矽到石墨烯

在與Okmetic CEO Kai Seikku和他的團隊進行訪談時，我們可以看到Okmetic將單晶矽切成矽晶圓的擺設。

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Okmetic公司會議室的擺設之一。

這次訪談中，Okmetic也談到了該公司最近開始外包晶圓生產的策略(請見MEMS wafer maker Okmetic outsources amid SOI push )，并說明了當地附近正在逐漸形成的MEMS聚落包含了哪些單位。

赫爾辛基周邊的MEMS聚落包括Aalto大學和VTT研究中心。另外，一些嶄新的材料，如石墨烯，也預計將在未來的MEMS發(fā)展中發(fā)揮作用。

赫爾辛基的夜晚

Okmetic 的Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen、芬蘭VTT Technical Research Centre的研發(fā)副總裁Jussi Tuovinen；還有Murata Electronics Oy的產品開發(fā)經理Anssi Blomqvist和我，一起花了點時間游覽了赫爾辛基市區(qū)。

這是由雕塑家Felix Nylund 在1932年發(fā)表的著名「三鐵匠」(Three Smiths)雕像。對面是赫爾辛基最有名的百貨公司Stockmann。

老字號的卡貝里咖啡館(Kappeli coffee)曾是令十九世紀作曲家Jean Sibelius流連忘返的地方，Jussi Tuovinen表示，Kappeli不但是學生們熱愛的聚會地點，芬蘭的獨立思想也誕生于此地。

[!--empirenews.page--]眺望包含了瑞典堡壘和赫爾辛基海港的小島。

ByeBye~~VTI； Hi，村田！

為什么？為什么芬蘭的飯店不能用厚一點的窗簾把光給遮??？答案很簡單，因為這樣一來，無論當地居民或是游客，都可以感受到凌晨三點直射房內的熾熱夏天陽光。

接著，我來到已經被村田制作所收購的VTI Technologies Oy公司，該公司現已正式更名為Murata Electronics Oy 。

村田在Vantaa的MEMS制造廠。

Murata Electronics Oy公司總裁Tsuneo Murata自該公司更名第一天起就長駐此地。我曾經采訪過他，并寫過一篇有關村田希望從MEMS朝物聯網(Internet of Things, IoT)擴展的文章。

在村田Vantaa公司大廳內展示的村田男孩(Murata-boy)，它能夠平衡地騎在自行車上。

VTT和芬蘭的MEMS聚落

現在，我的芬??蘭MEMS聚落巡禮來到了最后一站──位在Espoo的芬蘭VTT技術研究中心(VTT Technical Research Centre of Finland)。

這座微奈米研究中心(Micronova)包含了150mm-/200mm晶圓廠，用來支援VTT和Aalto University的多個研究專案。

[!--empirenews.page--]另外，一家名為VTT Memsfab Ltd.,的小型代工廠也會利用這座晶圓廠來提供服務。VTT Memsfab成立于2011年1月，隸屬于VTT集團旗下。

VTT在MEMS元件的研究方面素負盛名。VTT的高性能微系統專案領導人Aarne Oja教授負責研究矽薄膜MEMS麥克風；另外還有資深研究科學家Jarkko Antila專長于光學元件和測量技術。Antila也談到了如何使用基于法布里-珀羅干涉儀(Fabry-Perot Interferometry)原則的MEMS技術來開發(fā)光學感測器。

最后，Jussi Tuovinen表示，MEMS領域的所有參與者都應該強化合作關系。過去幾年來，我們已經看到所謂的異構技術聯盟(Heterogeneous Technology Alliance, HTA)成立，近年來更看到VTT和瑞士CSEM、德國Fraunhofer研究院，以及法國CEA-Leti的合作。Tuovinen接著指出，目前HTA已經擁有一個通用的SOI-MEMS平臺。

Tuovinen同時談到了MEMScat計畫，該計畫旨在促成芬蘭建構出完整的MEMS生態(tài)系統。這項計畫的主要目的是盡量協助新創(chuàng)公司，降低開發(fā)相關產品及系統的成本和門檻。此外，MEMScat計畫的另一個目標，則是吸引更多企業(yè)、創(chuàng)業(yè)家和工程人員到芬蘭的MEMS 聚落尋找夢想。

芬蘭的MEMS價值鏈。/ 資料來源：VTT技術研究中心

如果我是企業(yè)家或工程師，我會想去赫爾辛基開拓我的MEMS業(yè)務嗎？是的，不過，他們得先裝上厚一些的窗簾。