密歇根大學(xué)(University of Michigan)的工程師稱發(fā)明了一種針對壓電MEMS的微機械加工技術(shù)，可使傳統(tǒng)能源收集器收集的能量增加10倍以上。這個研究小組表示，一個硬幣大小的壓電MEMS就可以收集足夠驅(qū)動植入人體內(nèi)的醫(yī)療裝置或機動車上的無線傳感器的電力。

該系統(tǒng)開發(fā)者之一的Erkan Aktakka教授表示，無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的能源收集市場預(yù)計到2015年將達到4.5億美元。他在該實驗室工作，并且是該項目的主任科學(xué)家。

該研究小組將若干微機械加工MEMS器件與微型電路元件封裝在一起,構(gòu)成一個完整的僅27立方毫米的振動能量收集器。這種微型裝置以1.5g振動，可以收集頻率14~155次/秒(Hz)的振動能量，以產(chǎn)生約200mW功率。該能源收集器對一個超級電容充電至1.85V，然后由它替換電池驅(qū)動無線傳感器。研究人員估計這種能源收集器可以無損耗重復(fù)使用10到20年。

設(shè)計的細節(jié)將在北京舉辦的2011傳感器雜志固態(tài)傳感器、執(zhí)行器與微系統(tǒng)國際會議(Transducers 2011)(6月5日——9日)上披露。


自給式能量收集器通過體微機械加工的壓電MEMS將振動轉(zhuǎn)化為電能