加拿大研發(fā)聯(lián)盟將利用濕沉降技術(shù)推進(jìn)MEMS生產(chǎn)

法國(guó)馬錫和加拿大布羅蒙特--(美國(guó)商業(yè)資訊)--Alchime是一家領(lǐng)先的納米沉降技術(shù)供應(yīng)商，該技術(shù)應(yīng)用于硅通孔（TSVs）、半導(dǎo)體互連、MEMS和其它電子應(yīng)用。該公司今天宣布，MiQro創(chuàng)新協(xié)作中心（C2MI）已獲得其成套產(chǎn)品許可。

C2MI是由加拿大魁北克省的謝布魯克大學(xué)（Université of Sherbrooke）于2009年籌建的，擁有最先進(jìn)的MEMS設(shè)施。該中心的200mm MEMS和3D晶圓級(jí)加工（WLP）設(shè)備是世界上最先進(jìn)的，這些設(shè)備將保證其成員測(cè)試各種用于MEMS生產(chǎn)的材料。

Alchimer的成套產(chǎn)品及其Electrografting (eG)技術(shù)將支持該中心的3D MEMS程序。Electrografting是Alchimer突破性的電化學(xué)加工工藝，可制備極高品質(zhì)的聚合物和金屬薄膜。

Alchimer首席執(zhí)行官Steve Lerner說(shuō)："MiQro創(chuàng)新協(xié)作中心及其成員躋身于3D集成MEMS的領(lǐng)先行列。他們正在推動(dòng)這一領(lǐng)域的設(shè)計(jì)規(guī)則，我們很高興他們選擇我們的產(chǎn)品來(lái) 支持這項(xiàng)工作。這對(duì)Alchimer的產(chǎn)品和濕沉降技術(shù)又是一次堅(jiān)實(shí)的技術(shù)驗(yàn)證。"

世界頭號(hào)純MEMS制造商Teledyne DALSA Semiconductor的研發(fā)副總裁Luc Ouellet說(shuō)："Alchimer的Electrografting技術(shù)極大地提高了MEMS、3D-IC和片上互連的產(chǎn)出，并且該技術(shù)還為推進(jìn)低投入、高產(chǎn)出的3D MEMS生產(chǎn)技術(shù)的工作提供強(qiáng)大支持。"

關(guān)于Alchimer S.A.

Alchimer從事創(chuàng)新的化學(xué)配方、制程和知識(shí)產(chǎn)權(quán)的開(kāi)發(fā)和營(yíng)銷(xiāo)，其產(chǎn)品主要應(yīng)用于各種微電子和MEMS的納米薄膜沉積，其中包括晶圓級(jí)互連和三維TSVs (硅通孔)。該公司的突破性技術(shù)Electrografting（eGTM）是一個(gè)電化學(xué)的制程，能夠在導(dǎo)體和半導(dǎo)體生成各種類(lèi)型的超薄鍍層。Alchimer的潛力最初由法國(guó)創(chuàng)新署(OSEO)戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新計(jì)劃所確認(rèn)，該計(jì)劃支持具有商業(yè)化價(jià)值的最先進(jìn)技術(shù)。Alchimer成立于2001年，是法國(guó)原子能總署（CommISsariat à l'Energie Atomique，CEA）的分拆資產(chǎn)?？偛课挥诜▏?guó)馬錫，并于當(dāng)年獲得法國(guó)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)局（French Minister of Research and Industry）頒發(fā)的"高新科技 公司創(chuàng)立國(guó)家首獎(jiǎng)"（First National Award for the Creation of High Tech Companies）。公司現(xiàn)為"《紅鯡魚(yú)》歐洲100強(qiáng)公司"（ Red Herring Top 100 European Company）之一。請(qǐng)?jiān)L問(wèn)Archimer網(wǎng)站：alchimer.com。

關(guān)于 C2MI

MiQro創(chuàng)新協(xié)作中心（C2MI）起始于謝布魯克大學(xué)和微電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先公司間的伙伴關(guān)系。這些創(chuàng)始的合作伙伴已共同創(chuàng)建了一個(gè)促進(jìn)吸收其它工業(yè)和學(xué)術(shù)伙伴的良性系統(tǒng)。學(xué)術(shù)界和工業(yè)界研究者以獨(dú)創(chuàng)的方式緊密合作。

最初的21845萬(wàn)美元投資 (用于建設(shè)和研究設(shè)備) 來(lái)源于加拿大工業(yè)部 (8295萬(wàn)美元)、加拿大經(jīng)濟(jì)發(fā)展和創(chuàng)新出口部(9490萬(wàn)美元)、布羅蒙特鎮(zhèn)(價(jià)值1500萬(wàn)美元的10年免稅)和創(chuàng)始伙伴及設(shè)備供應(yīng)商(4060萬(wàn)美元)。請(qǐng)?jiān)L問(wèn)C2MI網(wǎng)站：www.c2mi.ca。