3月15日SEMICON China 2011展會的第一天，SEMI全球半導體業(yè)務總裁Jonathan Davis為沈陽國家IC裝備產(chǎn)業(yè)基地頒發(fā)了SEMI China授予的“最佳組織獎”，沈陽市高新區(qū)副主任孫維華代表產(chǎn)業(yè)基地接受了該獎項。

沈陽國家IC裝備產(chǎn)業(yè)基地已連續(xù)5年參展SEMICON China展會，今年，沈陽市東陵區(qū)（渾南新區(qū)）人民政府更是組織12家半導體裝備制造企業(yè)組成史上規(guī)模最大的沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地展團，第五次參展SEMICON CHINA。孫維華表示，“?2011年是國家‘十二五’建設的開局之年，市場和政策都有明確的信號顯示我國的半導體產(chǎn)業(yè)勢必將駛入新一輪的高速發(fā)展道路。在這樣的產(chǎn)業(yè)環(huán)境下，沈陽國家IC裝備產(chǎn)業(yè)基地將著力將優(yōu)勢產(chǎn)品做大做強，打造龍頭企業(yè)，積極參與國際競爭；在大力承接零部件加工外包業(yè)務的同時開展備件供應業(yè)務和二手設備的翻新業(yè)務，致力將業(yè)務拓展到太陽能電池、LED、平板顯示器等領域，并最終形成設備成套能力?！?/p>

沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地建設與發(fā)展已進入第十個年頭。經(jīng)過10年的發(fā)展，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)從最初的2家IC裝備企業(yè)發(fā)展到了90余家，骨干企業(yè)達到37家，先后共有6家骨干企業(yè)承擔了10項國家“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項課題。基地擁有國內(nèi)唯一專業(yè)從事IC裝備企業(yè)孵化的國家級孵化器及國內(nèi)首個面向集成電路裝備企業(yè)提供集約式公共技術服務的國家級中小企業(yè)服務示范平臺?；仄髽I(yè)自主研發(fā)出8-12英吋勻膠顯影設備、6英吋PECVD鍍膜設備和8-12英吋劃片設備三大類整機，以及超潔凈機械手、羅茨干泵、真空氣動閘板閥、SMIF系統(tǒng)、晶片傳輸設備等關鍵單元部件和子系統(tǒng)21種產(chǎn)品，產(chǎn)品國產(chǎn)化率平均達到70%以上，申報專利300余項?；刂鲗Мa(chǎn)品已經(jīng)在國內(nèi)外的集成電路、太陽能、數(shù)字醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)發(fā)揮了重要作用。2010年沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地被科技部認定為“沈陽國家集成電路裝備高新技術產(chǎn)業(yè)化基地”，這是目前科技部認定的國內(nèi)唯一的國家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。?

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