束檢測(cè)設(shè)備廠漢微科(3658)今舉行上柜前法人說(shuō)明會(huì)，總經(jīng)理招允佳指出，漢微科在電子束檢測(cè)設(shè)備的開(kāi)發(fā)策略上，針對(duì)下一個(gè)晶圓制程世代領(lǐng)先開(kāi)發(fā)，確保在新制程世代開(kāi)始之前，漢微科已可供應(yīng)半導(dǎo)體廠相應(yīng)的檢測(cè)設(shè)備。招允佳強(qiáng)調(diào)，未來(lái)數(shù)年之內(nèi)，漢微科的產(chǎn)品藍(lán)圖相當(dāng)明確，足以支撐漢微科的長(zhǎng)期成長(zhǎng)。

漢微科成立于2003年，主要產(chǎn)品是電子束(E-Beam)檢測(cè)設(shè)備，看準(zhǔn)晶圓制程縮微趨勢(shì)方興未艾，傳統(tǒng)的光學(xué)(可見(jiàn)光與不可見(jiàn)光)檢測(cè)設(shè)備將不敷制程持續(xù)縮微化的晶圓場(chǎng)所需，因此從成立以來(lái)即鎖定電子束檢測(cè)技術(shù)持續(xù)開(kāi)發(fā)。

招允佳表示，隨著半導(dǎo)體設(shè)計(jì)越發(fā)精密，制造難度也提高，半導(dǎo)體廠對(duì)于晶圓制程程序控制設(shè)備的需求也隨之提高，從90奈米開(kāi)始，到65奈米、40奈米，以及目前的32奈米與28奈米，漢微科在客戶制程開(kāi)發(fā)與量產(chǎn)的過(guò)程當(dāng)中，給予其品質(zhì)、良率的最佳后盾。未來(lái)漢微科也將繼續(xù)往20奈米的制程設(shè)備推進(jìn)，讓電子束檢測(cè)設(shè)備在晶圓廠的設(shè)備供應(yīng)中持續(xù)扮演支援要角。

招允佳指出，漢微科有4成人力放在研發(fā)部門，就是要確保漢微科的設(shè)備技術(shù)要一直走在晶圓廠的量產(chǎn)制程前面。舉例而言，在2006年晶圓廠展開(kāi)40奈米制程研發(fā)時(shí)，漢微科已進(jìn)展到15奈米的研發(fā)，而當(dāng)今晶圓廠投入14奈米制程開(kāi)發(fā)，漢微科更已開(kāi)始鉆研10奈米以下、甚至5奈米的檢測(cè)設(shè)備布局。

值得注意的是，過(guò)去電子束檢測(cè)設(shè)備主要是供應(yīng)給晶圓廠的研發(fā)部門，作為先進(jìn)制程世代的研發(fā)工具，不過(guò)隨著晶圓廠推動(dòng)往2X奈米、甚至1X奈米制程縮微，只要有少許缺陷(defect)就會(huì)造成晶圓廠良率下降，前段的晶圓缺陷檢測(cè)更形重要，晶圓量產(chǎn)線上，也已浮現(xiàn)對(duì)于電子束檢測(cè)設(shè)備的需求。

為了建立競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的進(jìn)入門檻，招允佳表示，漢微科掌握關(guān)鍵技術(shù)的智慧財(cái)產(chǎn)權(quán)，包括在專利與商標(biāo)上的布局，目前在電子束檢測(cè)設(shè)備有85%的市占率，未來(lái)還可望透過(guò)卡位各大半導(dǎo)體廠客戶，讓市占率獲得持續(xù)提升。

漢微科去年合并營(yíng)收年增73.3%至26.78億元，獲利更成長(zhǎng)160%至6.54億元，營(yíng)收與獲利同步創(chuàng)下新高紀(jì)錄，全年EPS為10.87元；而今年Q1繳出營(yíng)收9.14億元、稅后純益2.74億元，EPS 4.57元的成績(jī)單。公司內(nèi)部預(yù)期，Q2營(yíng)運(yùn)狀況持平Q1，下半年更將有機(jī)會(huì)優(yōu)于上半年。

目前漢微科年產(chǎn)能約達(dá)30臺(tái)機(jī)臺(tái)，今年下半年南科廠將進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)，預(yù)計(jì)明年產(chǎn)能開(kāi)出，全年最大產(chǎn)能可達(dá)50臺(tái)。公司也持續(xù)開(kāi)發(fā)新的檢測(cè)設(shè)備機(jī)臺(tái)，由于目前電子束檢測(cè)速度較慢，公司也在進(jìn)行矩陣式電子束檢測(cè)設(shè)備的研究開(kāi)發(fā)，該型設(shè)備檢測(cè)速度會(huì)是目前的倍數(shù)以上，預(yù)計(jì)2014年可以量產(chǎn)。