[導(dǎo)讀]實(shí)現(xiàn)了1級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn)(點(diǎn)擊放大)
氣流的直進(jìn)性高(點(diǎn)擊放大)
只在周圍設(shè)置簡(jiǎn)易防風(fēng)墻等即可實(shí)現(xiàn)無塵室的“FLOORKOACHE Ez”達(dá)到1級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn),興研在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張MESSE國(guó)際會(huì)
實(shí)現(xiàn)了1級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn)(點(diǎn)擊放大)
氣流的直進(jìn)性高(點(diǎn)擊放大)
只在周圍設(shè)置簡(jiǎn)易防風(fēng)墻等即可實(shí)現(xiàn)無塵室的“FLOORKOACHE Ez”達(dá)到1級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn),興研在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張MESSE國(guó)際會(huì)展中心)會(huì)場(chǎng)上演示了1級(jí)無塵室。該公司在以前的Semicon會(huì)議上也展示過FLOORKOACHE Ez,但此次以達(dá)到1級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn)為契機(jī),決定在會(huì)場(chǎng)上設(shè)置特大規(guī)模的無塵室以作宣傳。
半導(dǎo)體生產(chǎn)線的無塵室通常采用令空氣從房間上部向下部流動(dòng)的垂直層流方式,設(shè)置用于向房間上部輸送空氣的風(fēng)扇和過濾空氣污物的濾網(wǎng),而且為了防止前后左右的墻壁面上產(chǎn)生的污物進(jìn)入重直層流,還要注意壁面材料的選擇。因此,無塵室設(shè)置大多需要花費(fèi)數(shù)十億日元。
而FLOORKOACHE Ez可以橫向壓出的氣流來實(shí)現(xiàn)無塵環(huán)境。而且,據(jù)稱該氣流的直進(jìn)性極高,因此壁面產(chǎn)生的污物等不易進(jìn)入氣流,因而無需對(duì)壁面采取特殊措施。具體而言,在前后左右四面中的一面設(shè)置FLOORKOACHE Ez,在左右面和上面設(shè)置簡(jiǎn)易墻壁及天花板,防止打亂氣流的風(fēng)等進(jìn)入,并配備可使氣流從對(duì)抵抗面的兩側(cè)等排出的設(shè)施,便可實(shí)現(xiàn)無塵環(huán)境。實(shí)際上,會(huì)場(chǎng)上的無塵室是通過在金屬架上粘貼克力板之類的透明板構(gòu)成墻壁及天花板的。這樣便可低成本實(shí)現(xiàn)無尖室,比如能夠用6500萬日元將7m×20m×2.7m的空間打造成無塵室。而且設(shè)置工期也只需不到一周時(shí)間。
此次能夠?qū)o塵級(jí)別從原來的5級(jí)提高到1級(jí),是因?yàn)殚_發(fā)出了名為“FERENA-ZE”的濾網(wǎng)組件。據(jù)介紹該濾網(wǎng)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了與HEPA濾網(wǎng)相當(dāng)?shù)膲簱p和與ULPA比肩的捕集性能。通過在FLOORKOACHE Ez中采用該濾網(wǎng),實(shí)現(xiàn)了1級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn)。為了開發(fā)該濾網(wǎng),興研使用了稱為“靜電紡絲(Electrospinning)”的技術(shù)。(記者:長(zhǎng)廣 恭明,Tech-On!)
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