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[導(dǎo)讀]臺(tái)灣臺(tái)積電(TSMC)在美國(guó)加利福尼亞州圣何塞舉行的“TSMC 2010 Technology Symposium”上,宣布將跳過(guò)22nm工藝節(jié)點(diǎn),直接轉(zhuǎn)向20nm節(jié)點(diǎn)。據(jù)稱,直接轉(zhuǎn)向20nm工藝節(jié)點(diǎn)的背景,是因?yàn)榇_立了圖形(Patterning)技術(shù)及布

臺(tái)灣臺(tái)積電(TSMC)在美國(guó)加利福尼亞州圣何塞舉行的“TSMC 2010 Technology Symposium”上,宣布將跳過(guò)22nm工藝節(jié)點(diǎn),直接轉(zhuǎn)向20nm節(jié)點(diǎn)。據(jù)稱,直接轉(zhuǎn)向20nm工藝節(jié)點(diǎn)的背景,是因?yàn)榇_立了圖形(Patterning)技術(shù)及布局設(shè)計(jì)方法等。

宣布這一消息的臺(tái)積電研究資深發(fā)展副總裁蔣尚義還透露,2012年下半年將開(kāi)始20nm工藝的風(fēng)險(xiǎn)性量產(chǎn)。并且,此次該公司還表示,20nm工藝將優(yōu)先用于平板晶體管,而非FinFET之類(lèi)的三維晶體管。似乎還對(duì)工藝細(xì)節(jié)作了改進(jìn)。

臺(tái)積電稱,將對(duì)諸如高介電率(high-k)材料、金屬柵極、應(yīng)變硅、銅布線及低介電率(low-k)層間布線絕緣膜等采用新技術(shù)。另外,蔣尚義還表示,“臺(tái)積電已驗(yàn)證,在FinFET及高遷移率元件等其他晶體管上采用20nm工藝的可能性也很高”。(記者:小島 郁太郎)


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