[導(dǎo)讀]諾發(fā)系統(tǒng)(Novellus)近日開(kāi)發(fā)出一項(xiàng)SPM-F填充制程技術(shù),以延伸其SPEED MAX系統(tǒng)在隔離淺溝槽(STI)充填沈積應(yīng)用至32柰米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。這種新制程技術(shù)利用SPEED MAX高密度電漿化學(xué)氣相沈積(HDP-CVD)平臺(tái),可取代濕式刻蝕加工
諾發(fā)系統(tǒng)(Novellus)近日開(kāi)發(fā)出一項(xiàng)SPM-F填充制程技術(shù),以延伸其SPEED MAX系統(tǒng)在隔離淺溝槽(STI)充填沈積應(yīng)用至32柰米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。這種新制程技術(shù)利用SPEED MAX高密度電漿化學(xué)氣相沈積(HDP-CVD)平臺(tái),可取代濕式刻蝕加工,并可發(fā)揮動(dòng)態(tài)配置控制(DPC)功能,從而增加晶圓廠(chǎng)的生產(chǎn)力。
控制濺射到沈積(S/D值)的比例并產(chǎn)生連續(xù)式的沈積/蝕刻來(lái)編織需要的輪廓,諾發(fā)系統(tǒng)工程師使用氟(SPM-F)開(kāi)發(fā)出這種單次,連續(xù)調(diào)制輪闊技術(shù)以填補(bǔ)32柰米功能架構(gòu)。此一制程同時(shí)也能可滿(mǎn)足嚴(yán)格的STI邏輯應(yīng)用的整合上需求和量產(chǎn)制造的必要條件。
隨 著半導(dǎo)體制造商轉(zhuǎn)移到32奈米以后,需要以最少的硬件修改擴(kuò)展現(xiàn)有的平臺(tái)技術(shù)是至關(guān)重要的,不僅要滿(mǎn)足發(fā)展的時(shí)間表,而且要管理制造成本。由于改變新材料 會(huì)增加整合上的不確定以及用來(lái)取代的新沈積薄膜技術(shù)有很多不可取的特質(zhì),所以HDP仍是先進(jìn)的填充幾何結(jié)構(gòu)介質(zhì)技術(shù)首選。
然 而,要達(dá)到32奈米以后之間隙充填需求,傳統(tǒng)HDP沈積過(guò)程中,利用交替沈積和蝕刻周期填補(bǔ)功能必須小心控制。太多的沈積/蝕刻周期,或控制過(guò)程的不一致 性,會(huì)導(dǎo)致過(guò)多的消減或產(chǎn)生坑道內(nèi)的空洞而損失晶圓良率。加入濕法刻蝕的過(guò)程是可以克服填空不足但會(huì)增加成本及整合的復(fù)雜性和生產(chǎn)率低下降。為了實(shí)現(xiàn)完整 的填空能力而不使用濕法刻蝕步驟,必須調(diào)整優(yōu)化晶圓上制程參數(shù),如S/D值,化學(xué)反應(yīng)和蝕刻均勻性。
諾發(fā)SPEED Max系統(tǒng)展延HDP-CVD方法應(yīng)用到45和32奈米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。該系統(tǒng)的恒溫反應(yīng)室的設(shè)計(jì)以及結(jié)合擴(kuò)大電漿源其允許生產(chǎn)更多的晶圓在反應(yīng)室的累積膜厚清 除循還之間提供卓越的系統(tǒng)生產(chǎn)量。此外SPEED Max的多口噴射,再加上獨(dú)立電漿源技術(shù)所定制重復(fù)的沈積和蝕刻的最佳程續(xù)可達(dá)成晶圓上薄膜厚度和充填的均勻性。
諾發(fā)系統(tǒng)發(fā)展出SPPED MAX系統(tǒng)平臺(tái)上獨(dú)特的SPM-F填充制程來(lái)除去額外濕式蝕刻的步驟。利用SPEED MAX的密集電漿源和DPC技術(shù),能夠減少結(jié)構(gòu)上端氧化程度并消除在高低密集數(shù)組上的切剪效應(yīng)來(lái)完成填充的32奈米結(jié)構(gòu)。
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上海2022年10月18日 /美通社/ -- 2022年9月5日,是首都銀行集團(tuán)成立60周年的紀(jì)念日。趁著首都銀行集團(tuán)成立60周年與首都銀行(中國(guó))在華深耕經(jīng)營(yíng)12年的“大日子”,圍繞作為外資金融機(jī)構(gòu)對(duì)在華戰(zhàn)略的構(gòu)想和業(yè)...
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根據(jù)害蟲(chóng)控制公司Orkin最新發(fā)布的“美國(guó)鼠患最嚴(yán)重的城市”年度調(diào)查,芝加哥連續(xù)第八年排在第一。報(bào)告統(tǒng)計(jì)時(shí)間從2021年9月1日至2022年8月31日,包括住宅樓和商業(yè)地產(chǎn)。紐約上升至第二,洛杉磯第三。每年秋季,老鼠和其...
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10月5日訊當(dāng)?shù)貢r(shí)間周二(10月4日),美國(guó)最大內(nèi)存芯片制造商美光科技在官網(wǎng)宣布,公司計(jì)劃在紐約州中部打造一個(gè)巨型晶圓廠(chǎng),以促進(jìn)在美存儲(chǔ)芯片的生產(chǎn)。
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針對(duì)財(cái)會(huì)專(zhuān)業(yè)人士的調(diào)查顯示,大多數(shù)組織的財(cái)會(huì)專(zhuān)業(yè)人員都已經(jīng)邁出了轉(zhuǎn)型步伐,但尚未做好準(zhǔn)備滿(mǎn)足組織對(duì)于未來(lái)財(cái)會(huì)職能的要求,即具備更高的洞察力和預(yù)見(jiàn)力 北京2022年10月13日 /美通社/ -- IMA管理會(huì)計(jì)師協(xié)會(huì)與德...
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上海2022年10月11日 /美通社/ -- 10月10日,和睦家醫(yī)療宣布與泰利福達(dá)成戰(zhàn)略合作,簽約儀式于上海和睦家醫(yī)院圓滿(mǎn)舉辦,并在線(xiàn)上與多位泌尿外科領(lǐng)域翹楚同步連線(xiàn)召開(kāi)"微創(chuàng)經(jīng)尿道前列腺懸擴(kuò)術(shù)(PUL)&q...
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上海2022年10月11日 /美通社/ -- 10月10日,明月鏡片正式官宣劉昊然成為品牌代言人。一個(gè)是中國(guó)鏡片領(lǐng)導(dǎo)品牌,通過(guò)科技創(chuàng)新引領(lǐng)了鏡片行業(yè)的發(fā)展;一個(gè)是新生代實(shí)力演員,憑借高票房作品贏得了觀(guān)眾的認(rèn)可。此次雙方攜...
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國(guó)內(nèi)人才濟(jì)濟(jì),從來(lái)不缺學(xué)霸,不僅有32門(mén)課幾乎都滿(mǎn)分的學(xué)霸,還有發(fā)表了27篇SCI論文的學(xué)霸,這個(gè)80后甚至擊敗了NASA團(tuán)隊(duì)獲得了國(guó)際大賽冠軍。據(jù)央視介紹,這個(gè)學(xué)霸是姜宇,現(xiàn)年38歲,是清華大學(xué)航天學(xué)院建院80多年來(lái)首...
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北京2022年10月11日 /美通社/ -- 近日,軟通動(dòng)力聯(lián)合亞馬遜云科技共同發(fā)布了《制造業(yè)數(shù)據(jù)治理白皮書(shū)(2022版)》(以下簡(jiǎn)稱(chēng)"白皮書(shū)")。全書(shū)基于雙方賦能一線(xiàn)制造業(yè)企業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型過(guò)程的實(shí)操踐...
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華領(lǐng)醫(yī)藥研發(fā)的全球首創(chuàng)新藥葡萄糖激酶激活劑華堂寧(多格列艾汀片)已于10月8日獲得中國(guó)國(guó)家藥品監(jiān)督管理局(NMPA)的上市批準(zhǔn)。華堂寧獲批兩個(gè)適應(yīng)癥,即單獨(dú)用藥治療未經(jīng)藥物治療的2型糖尿病患者,或者在單獨(dú)使用二甲雙胍血糖...
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繼3月份達(dá)成相關(guān)協(xié)議,拜耳正式完成向國(guó)際私募股權(quán)公司Cinven出售其環(huán)境科學(xué)業(yè)務(wù)。該業(yè)務(wù)在2021年的銷(xiāo)售額約為6億歐元,其收購(gòu)價(jià)格為26億美元(26億歐元)。剝離后的原拜耳環(huán)境科學(xué)業(yè)務(wù)成為一家獨(dú)立公司運(yùn)營(yíng),公司中文名...
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大連2022年9月30日 /美通社/ -- 近日,國(guó)際獨(dú)立第三方檢測(cè)、檢驗(yàn)和認(rèn)證機(jī)構(gòu)德國(guó)萊茵TUV(簡(jiǎn)稱(chēng)"TUV萊茵")大連分公司總經(jīng)理張孝寬受邀出席了由...
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北京2022年9月29日 /美通社/ -- 近日,2022年度李錦記杯學(xué)生創(chuàng)新大賽終評(píng)會(huì)在北京召開(kāi)。大賽由李錦記與中國(guó)食品科學(xué)技術(shù)學(xué)會(huì)聯(lián)合主辦,舉辦至今已有12年,目的是為了積極推進(jìn)食品產(chǎn)業(yè)發(fā)展、加強(qiáng)校企合作、開(kāi)拓大學(xué)生...
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半導(dǎo)體景氣下行已延伸至最上游的硅晶圓材料領(lǐng)域。近期8寸硅晶圓市況“急轉(zhuǎn)直下”,后續(xù)12寸硅晶圓產(chǎn)品也難逃沖擊。預(yù)期客戶(hù)端于第四季度到明年第一季度將調(diào)整庫(kù)存。有部分硅晶圓廠(chǎng)商已同意一些下游長(zhǎng)約客戶(hù)的要求,可延后拉貨時(shí)程,但...
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脈沖寬度調(diào)制(PWM) 是一種數(shù)字信號(hào),最常用于控制電路。該信號(hào)在預(yù)定義的時(shí)間和速度中設(shè)置為高(5v或3.3v)和低(0v)。通常,我們將PWM的高電平稱(chēng)為1,低電平為0。
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美國(guó)輝瑞公司(Pfizer)首席執(zhí)行官艾伯樂(lè)(Albert Bourla)新冠病毒檢測(cè)結(jié)果再次呈陽(yáng)性。艾伯樂(lè)表示自己“感覺(jué)很好,沒(méi)有任何癥狀”。60歲的艾伯樂(lè)曾于今年8月15日感染新冠,并已開(kāi)始服用治療新冠藥物Paxlo...
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愛(ài)思開(kāi)海力士·英特爾DMTM半導(dǎo)體(大連)有限公司非易失性存儲(chǔ)器項(xiàng)目在大連金普新區(qū)舉行開(kāi)工儀式。該項(xiàng)目將建設(shè)一座新的晶圓工廠(chǎng),從事非易失性存儲(chǔ)器3D NAND芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)。全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體供應(yīng)商SK海力士已在中國(guó)市場(chǎng)深...
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SK海力士
晶圓廠(chǎng)
閃存芯片
數(shù)個(gè)月前,英特爾宣布將斥資 200 億美元在俄亥俄州建造兩座先進(jìn)制程晶圓廠(chǎng),并表示其投資“在未來(lái)十年內(nèi)可能增長(zhǎng)到高達(dá) 1000 億美元”,但這部分取決于關(guān)于聯(lián)邦的芯片補(bǔ)貼。由于此前美國(guó)芯片法案遲遲未能獲得通過(guò),英特爾在6...
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英特爾
晶圓廠(chǎng)
基辛格
據(jù)彭博社報(bào)導(dǎo),為制造制程更先進(jìn)、耗電更少的芯片,往往制造需要大量的電力。光刻機(jī)巨頭ASML最先進(jìn)極紫外(EUV)光刻機(jī),每臺(tái)預(yù)估耗電1MW(megawatt,百萬(wàn)瓦),約為前幾代設(shè)備的10 倍,加上制造先進(jìn)制程芯片還沒(méi)有...
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臺(tái)積電
先進(jìn)制程
晶圓廠(chǎng)
上海2022年9月19日 /美通社/ -- 云頂新耀(HKEX 1952.HK)是一家專(zhuān)注于創(chuàng)新藥開(kāi)發(fā)及商業(yè)化的生物制藥公司,致力于滿(mǎn)足亞太市場(chǎng)尚未被滿(mǎn)足的醫(yī)療需求,現(xiàn)宣布任命羅永慶先生為公司的首席執(zhí)行官,該任...
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管線(xiàn)
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COM
摘要:以福建華電可門(mén)發(fā)電有限公司中壓供熱壓力控制系統(tǒng)在實(shí)際運(yùn)行中存在的問(wèn)題為背景,結(jié)合實(shí)際運(yùn)行情況分析了問(wèn)題原因。針對(duì)該系統(tǒng)提出了全面的改進(jìn)措施并加以實(shí)施,有效提高了中壓供熱壓力控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性和機(jī)組運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性,取得了...
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壓力
控制
穩(wěn)定