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Crossing Automation推出優(yōu)化真空晶圓搬運系統(tǒng)

時間：2009-06-10 22:21:00
關鍵字： AUTOMATION    晶圓    CROSSING    EXPRESS   
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[導讀]Crossing Automation推出為真空晶圓搬運系統(tǒng)所提供的自動化部件模塊產品系列ExpressConnectTM。其neutral approach的結構取代了大部分集束型設備常見的傳統(tǒng)集中化晶圓搬運設計，并且可減少20-70%的所占空間，具有更高的彈性、更低的成本、更高的生產力和吞吐量高達每小時250片晶圓。

Crossing Automation推出為真空晶圓搬運系統(tǒng)所提供的自動化部件模塊產品系列ExpressConnectTM。其neutral approach的結構取代了大部分集束型設備常見的傳統(tǒng)集中化晶圓搬運設計，并且可減少20-70%的所占空間，具有更高的彈性、更低的成本、更高的生產力和吞吐量高達每小時250片晶圓。ExpressConnect由5種基本部件所組成，其目的在于為晶圓自動化產生無限的設定組合。其系統(tǒng)架構使用簡單的線性移轉裝置和簡化的控制算法以提升效率與控制可靠度。Crossing提供數(shù)種不同基本架構的ExpressConnect模塊子系統(tǒng)，以作為工具層級晶圓自動化的標準基礎，提供真空搬運系統(tǒng)與其管理，讓設備制造商能夠在自己的制程工具當中重新全面掌控上游與下游的參數(shù)。

Crossing Automation，www.crossinginc.com

 

 

來源：SEMI

作者：zhaobin

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