明年6吋有機化學氣相沉積(MOCVD)機臺量將大幅增長。發(fā)光二極體(LED)價格自2011年始走跌，上游LED磊晶廠除藉由縮減資本支出(CAPEX)力挽利潤與營收下滑頹勢外，亦已逐步調(diào)高6吋MOCVD機臺采用比重，進一步降低制造成本、強化價格競爭力。
Laytec業(yè)務總經(jīng)理Tom Thieme表示，現(xiàn)地量測將有助于調(diào)高LED磊晶良率，借此有效降低LED磊晶的制造成本。
Laytec業(yè)務總經(jīng)理Tom Thieme表示，今年上游LED磊晶供應商添購MOCVD機臺的數(shù)量明顯下滑，且4吋MOCVD機臺不再是市場主流，反之6吋MOCVD機臺的采購比例明顯攀升，顯見LED磊晶廠已面臨極大的成本壓力，因此加緊購入大尺寸MOCVD機臺，以提高毛利率和營收貢獻。
看好6吋MOCVD機臺需求看漲，愛思強(Aixtron)、威科(Veeco)等MOCVD設備商早已展開6吋產(chǎn)品線部署；另一方面，MOCVD光學量測廠商如Laytec等，亦快馬加鞭布局先進的現(xiàn)地量測(In-Situ Metrology)技術，以提高LED磊晶廠的生產(chǎn)良率，達成調(diào)降制造成本的目的。
Thieme指出，2013年6吋MOCVD機臺的市場滲透率將會急速擴大，對于量測MOCVD反應爐內(nèi)晶圓溫度的高溫計(Pyrometer)儀器，Laytec已開發(fā)出安裝到反應爐中的現(xiàn)地量測儀器，可以確保晶圓的平整度(Flatness)，以提高良率。
Thieme進一步透露，目前Laytec針對6吋MOCVD機臺開發(fā)的現(xiàn)地量測儀器，讓LED波長的一致性可達±3奈米(nm)，該公司計畫至2015年達±1奈米的目標，可望助力LED磊晶廠加快提升良率，以縮減成本。