通常情況下，MEMS產(chǎn)品可以用與半導體產(chǎn)品相同或者類似的方法來制作，半導體微細加工中的光刻、曝光、刻蝕、清洗等加工工藝同樣適用于MEMS產(chǎn)品制造。MEMS產(chǎn)品可以在Fabless或者系統(tǒng)整機生產(chǎn)廠家中設計好后，委托給集成電路Foundry工廠來制作。但加工工藝和產(chǎn)品測試方法等又稍不同于IC制造，從而形成了半導體微細加工的一個新領域。

MEMS在電子產(chǎn)品中所起的作用與IC既密切相關又有明確而不同的分工。IC相當于人的大腦，其工作的主要對象是數(shù)據(jù)和信息，通過對數(shù)據(jù)進行分析、計算和處理，將處理結果通知給機器中的其他執(zhí)行功能部件來執(zhí)行；而MEMS的作用相當于人的四肢，其主要功能有兩種：一是及時反映運行中的機器狀態(tài)，將這種狀態(tài)轉變成電信號，及時傳遞給IC來處理；二是接受和執(zhí)行來自IC的數(shù)據(jù)指令，實現(xiàn)對機器系統(tǒng)的運行控制。

IC與MEMS二者緊密配合，實現(xiàn)現(xiàn)代智能化電子產(chǎn)品的閉環(huán)運行。沒有MEMS無法響應和執(zhí)行IC的具體指令，機器將成為“無感覺和無行為能力”的機器；而沒有IC，機器將成為“沒有頭腦”的非智能化傳統(tǒng)機械。

作為MEMS第一類功能的產(chǎn)品實現(xiàn)，其作用相當于人的五官感知功能，用于將自然界中的物理量轉變?yōu)榭晒╇娔X處理的信息數(shù)據(jù)。如MEMS麥克風、全硅振蕩器、MEMS陀螺儀等。其中應用最廣最多的是MEMS傳感器，一切自然界中的力、電、磁、化學成份、重量、聲音、光、氣味、運動（速度、位置和方向的改變，震動，沖擊，傾斜，旋轉）、圖形圖象識別等，都是傳感器的應用領域，而MEMS工藝則使以往的普通工藝制造的傳感器能耗和體積更加縮小、靈敏度和性能進一步提高、生產(chǎn)成本大幅度下降，并實現(xiàn)了許多以往無法實現(xiàn)的功能。

例如：一種用MEMS工藝制作的將在醫(yī)學和基因研究中起重要作用的傳感器，可以精確稱量細胞的重量，實現(xiàn)了醫(yī)療儀器的重大突破；而MEMS陀螺儀因成本大幅下降而得以在普通消費電子產(chǎn)品中獲得應用，使手機等終端產(chǎn)品有了方向和狀態(tài)的感知功能，從而實現(xiàn)了閱讀時顯示屏幕縱橫之間的自動切換；汽車應用中安全氣囊的MEMS慣性感測器、MEMS加速計等MEMS傳感器種類多達數(shù)十種。

MEMS第二類功能的產(chǎn)品實現(xiàn)，其作用相當于人的四肢。是接受和執(zhí)行來自IC的數(shù)據(jù)指令，實現(xiàn)對機器系統(tǒng)的自動控制。其典型產(chǎn)品有：噴墨打印機的打印頭，新型顯示器的MEMS數(shù)字微快門，液體控制中的微流控制器、微型設備中的MEMS微型執(zhí)行器、MEMS制動器、MEMS微型機電、微型發(fā)電機等，通信設備中的MEMS光開關，醫(yī)療電子產(chǎn)品中的心臟起搏器、可以直接接收大腦神經(jīng)元信號的智能假肢，微型機器人中的各類響應部件等。

另外MEMS工藝技術還用于太陽光伏電池制造等，特別是高通公司用MEMS工藝開發(fā)出了被稱為mirasol顯示技術的新型顯示器，其原理是利用光的干涉方法來測量和調(diào)節(jié)（IMOD）光的反射，來進行信息圖像的顯示，省略了普通LCD顯示器的背光源，極大地減少了顯示器能耗，實現(xiàn)了在強陽光下更清晰的圖象顯示。