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[導(dǎo)讀]半導(dǎo)體供應(yīng)商意法半導(dǎo)體日前宣布該公司在開發(fā)新型的最終可能會(huì)取代閃存的電子存儲(chǔ)器中取得重大進(jìn)步,這種新的技術(shù)叫做換相存儲(chǔ)器(PCM),其潛在性能優(yōu)于閃存,優(yōu)點(diǎn)包括更快的讀寫速度、更高的耐用性,以及向單個(gè)存儲(chǔ)

半導(dǎo)體供應(yīng)商意法半導(dǎo)體日前宣布該公司在開發(fā)新型的最終可能會(huì)取代閃存的電子存儲(chǔ)器中取得重大進(jìn)步,這種新的技術(shù)叫做換相存儲(chǔ)器PCM),其潛在性能優(yōu)于閃存,優(yōu)點(diǎn)包括更快的讀寫速度、更高的耐用性,以及向單個(gè)存儲(chǔ)地址寫入的能力。最重要的是,這項(xiàng)技術(shù)的內(nèi)在靈活性高于目前正在應(yīng)用中的其它任何非易失性存儲(chǔ)器技術(shù)。

6月15-19日,在美國(guó)檀香山舉行的半導(dǎo)體行業(yè)最重要的年度論壇“2004年VLSI技術(shù)暨電路研討會(huì)”上,ST發(fā)表了兩篇技術(shù)論文,文中詳細(xì)論述了其在開發(fā)商用PCM技術(shù)中所取得的進(jìn)展。在其中一篇技術(shù)論文中,ST首次展示了一個(gè)可以降低單元電流的微溝道單元結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)能夠輕松集成到一個(gè)CMOS基本制程中,并詳細(xì)介紹了這項(xiàng)技術(shù)的可制造性和成本。在另一篇論文中,ST論述了把一個(gè)縱向雙極選擇單元集成到一個(gè)為評(píng)估具有成本效益的大容量非易失性存儲(chǔ)器的可行性而設(shè)計(jì)的8兆位演示產(chǎn)品的過程。

新的存儲(chǔ)器技術(shù)利用這樣一個(gè)事實(shí),即被叫做硫系化合物的材料,在本案中是叫做GST的鍺銻碲合金, 通過適當(dāng)加熱,可以在兩個(gè)穩(wěn)態(tài)之間進(jìn)行可逆轉(zhuǎn)換,其中一種狀態(tài)是高電阻的非晶形狀態(tài),另一種是電阻很低的晶形狀態(tài)。一個(gè)采用這項(xiàng)技術(shù)存儲(chǔ)單元主要是由GST組成的一個(gè)可變電阻和一個(gè)加熱器,以及一個(gè)用于讀寫操作的選擇晶體管。
采用這項(xiàng)技術(shù)的一個(gè)創(chuàng)新成果是,通過使一個(gè)薄型縱向半金屬加熱器與一個(gè)沉積了GST的溝道(微溝道)形成交叉形狀,以定義GST與加熱器之間的接觸面 ,從而簡(jiǎn)化了縱向集成方式,同時(shí)降低了編程電流。選擇晶體管是一個(gè)直接安裝在加熱器下面的pnp雙極晶體管。結(jié)果形成一個(gè)可以兼容采用相技術(shù)的最好的NOR閃存單元的單元面積(采用180nm CMOS工藝的0.32平方微米), 同時(shí)還提供以下優(yōu)點(diǎn)如單一位粒度、較快寫入、極高耐用性和更高的可伸縮性。

可伸縮性尤為重要,因?yàn)榘雽?dǎo)體制造商預(yù)測(cè)到在開發(fā)45納米以下節(jié)點(diǎn)的閃存中,會(huì)因?yàn)槲锢硐拗埔蛩囟龅较喈?dāng)大的開發(fā)困難,這些限制因素包括小于8-9納米的隧道氧化物厚度出現(xiàn)的無(wú)法接受的大量漏電。相比之下,PCM存儲(chǔ)單元的可伸縮性就沒有這些限制,其面對(duì)的主要挑戰(zhàn)是降低工作電流。PCM的可伸縮性使之成為幾年之后必須出現(xiàn)的后閃存時(shí)代的主要的候選技術(shù)。

雖然演示產(chǎn)品是基于一個(gè)PCM單元和一個(gè)雙極選擇晶體管,但是PCM體系結(jié)構(gòu)仍然完全兼容使用一個(gè)場(chǎng)效應(yīng)MOS管選擇單元,在這種情況下,單元面積將會(huì)擴(kuò)大約4倍,但是需要的掩模卻非常少。因此,場(chǎng)效應(yīng)MOS管選擇單元在嵌入式非易失性存儲(chǔ)器應(yīng)用中將具有一定的優(yōu)勢(shì)。

基于現(xiàn)在取得的結(jié)果,ST預(yù)計(jì)PCM技術(shù)將會(huì)被用于中密度的獨(dú)立和嵌入式存儲(chǔ)器應(yīng)用。此外,通過演示PCM最具有吸引力的可行性功能,ST增強(qiáng)了對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的長(zhǎng)期可伸縮性的信心,其可伸縮性必將使PCM最終成為一個(gè)主流的非易失性存儲(chǔ)器技術(shù)。

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