中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)，日前宣布總金額為4千6百萬(wàn)美元的第四期融資圓滿結(jié)束。中微公司原有投資方上海創(chuàng)業(yè)投資有限投資公司,美國(guó)華登國(guó)際風(fēng)險(xiǎn)投資公司，光速風(fēng)險(xiǎn)投資合伙人，美國(guó)高盛公司，紅點(diǎn)風(fēng)險(xiǎn)投資，全球催化劑合伙人，中西部合伙人，灣區(qū)合伙人，以及美國(guó)高通公司投資部繼續(xù)參與了這輪投資。自2004年成立以來(lái)，中微公司從風(fēng)險(xiǎn)投資公司融資總數(shù)超過(guò)了1億5千萬(wàn)美元。

“我欣慰的看到中微公司在去年的金融危機(jī)，和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)極度不景氣的情況下，經(jīng)受住考驗(yàn)。”上海創(chuàng)業(yè)投資公司總裁，王品高先生指出“在等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)品初步進(jìn)入市場(chǎng)上，取得了可喜的進(jìn)步，在中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)的發(fā)展中，起了帶頭作用。我相信，中微在今后的幾年，一定能將其產(chǎn)品全面進(jìn)入市場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，為芯片生產(chǎn)客戶提供先進(jìn)的設(shè)備產(chǎn)品和良好的技術(shù)服務(wù)。我們上海創(chuàng)投會(huì)繼續(xù)盡我們最大的努力支持中微實(shí)現(xiàn)他們的目標(biāo)。”

美國(guó)華登國(guó)際董事長(zhǎng)陳立武 (Lip-Bu Tan)認(rèn)為 “隨著半導(dǎo)體工業(yè)向更先進(jìn)的32/22納米工藝發(fā)展，代工廠正在通過(guò)擴(kuò)大產(chǎn)能來(lái)趕上先進(jìn)技術(shù)的更高要求。中微公司已經(jīng)募集到足夠的資金，并開(kāi)發(fā)出具有極佳性能，極高產(chǎn)能和極低運(yùn)營(yíng)成本的設(shè)備以滿足這種先進(jìn)制造的要求。我完全相信中微管理團(tuán)隊(duì)能面對(duì)挑戰(zhàn)，幫助業(yè)界滿足這種需求。”

“中微公司管理團(tuán)隊(duì)在半導(dǎo)體行業(yè)的低谷和全球金融危機(jī)時(shí), 克服種種困難，堅(jiān)持執(zhí)行企業(yè)制定的計(jì)劃。當(dāng)設(shè)備市場(chǎng)在復(fù)蘇和增長(zhǎng)時(shí)，提供了極好的設(shè)備產(chǎn)品。” 光速風(fēng)險(xiǎn)投資合伙人公司的董事總經(jīng)理 Chris Schaepe 說(shuō)：“領(lǐng)先的芯片廠商逐步的接受和肯定中微公司的技術(shù)和產(chǎn)品，和中微的產(chǎn)品進(jìn)一步的規(guī)劃是鼓舞人心的。我們期待中微公司繼續(xù)保持發(fā)展的勢(shì)頭，能隨著這個(gè)行業(yè)的復(fù)蘇和市場(chǎng)對(duì)不同刻蝕設(shè)備需求的增加，而有更大的發(fā)展。”

“這次資金的投入，為我們產(chǎn)品進(jìn)一步市場(chǎng)化和加速量產(chǎn)，提供了更好的保障 ” 中微公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官，尹志堯博士進(jìn)一步指出：“盡管緊縮的資本市場(chǎng)和不利的經(jīng)濟(jì)大環(huán)境，對(duì)一個(gè)剛剛起步的公司來(lái)說(shuō)是極富挑戰(zhàn)性的。但是我們?nèi)匀槐３种鲃?dòng)進(jìn)取的創(chuàng)新精神。這使得我們有能力向客戶提供用來(lái)制造最先進(jìn)器件的最好的等離子刻蝕設(shè)備。中微公司的刻蝕設(shè)備以最大的產(chǎn)能，優(yōu)異的性能和成本優(yōu)勢(shì)，進(jìn)入了亞洲各個(gè)地區(qū)的芯片制造廠。我們對(duì)投資方和客戶對(duì)中微公司的信心和持續(xù)的支持表示非常感謝”

自上期融資以來(lái)，中微公司致力于Primo-RIE 系列刻蝕設(shè)備的市場(chǎng)布局。今天，有5家亞洲芯片公司先后接受了中微公司的刻蝕系統(tǒng)，他們包括代工廠和存儲(chǔ)器生產(chǎn)廠家，研發(fā)和生產(chǎn)從65納米到45納米的器件，并可以延伸到32納米，甚至更小的器件。在不同的芯片制造廠家已得到重復(fù)訂貨，并已順利啟動(dòng)。在2010年將會(huì)有更多的設(shè)備運(yùn)往現(xiàn)有客戶的大規(guī)模生產(chǎn)線上，或運(yùn)往新的客戶。

芯片制造商被中微的PRIMO D-RIE系統(tǒng)獨(dú)特的設(shè)計(jì)所吸引---創(chuàng)新的甚高頻去耦合離子反應(yīng)技術(shù)，和雙反應(yīng)臺(tái)，但具有各反應(yīng)臺(tái)單獨(dú)控制能力的，多臺(tái)反應(yīng)器系統(tǒng)。先進(jìn)的設(shè)計(jì)和高質(zhì)量的制造，使中微公司Primo D-RIE成為市場(chǎng)上具有高產(chǎn)能，可靠性高，以及成本優(yōu)勢(shì)顯著的刻蝕設(shè)備。去年，這個(gè)系統(tǒng)榮獲了美國(guó)最有影響力的行業(yè)雜志—國(guó)際半導(dǎo)體雜志的2009年度最佳產(chǎn)品獎(jiǎng)。 除此以外，在此期間中微公司及其設(shè)備先后在各地區(qū)地區(qū)榮獲了9個(gè)獎(jiǎng)項(xiàng)。

另外最近值得注意的進(jìn)展是中微公司與美國(guó)應(yīng)用材料公司結(jié)束了所有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)爭(zhēng)執(zhí)，并達(dá)成共同尋求合作機(jī)會(huì)的共識(shí)。