Crossing Automation公司,一個為半導體設備制造商提供靈活、低成本和有效的前段及后段制造程序自動化解決方案及工程服務領域的領先供應商今天宣布，該公司已經獲得四項新專利。這些專利涉及晶圓生產設備前端的Loaport(晶圓裝載端口)，晶圓輸送機器手臂和晶圓輸送機器手臂的終端操作器，進一步拓展了 Crossing 在晶圓輸送環(huán)節(jié)自動化技術領域的領先地位。

Crossing 總裁兼首席執(zhí)行官 Bob MacKnight 表示：“Crossing Automation 多年來在半導體生產自動化、環(huán)境控制及材料識別與跟蹤領域做出了許多重大而又富有創(chuàng)意的技術貢獻。”他說, “這些新專利所涵蓋的技術是在針對新的市場要求，從改良現有解決方案的新穎見解的角度開發(fā)出來的。這些專利突出顯示了我們?yōu)榫A輸送自動化市場帶來不斷創(chuàng)新的解決方案的堅定信念和不斷投入。這些解決方案并且經濟有效, 能縮短半導體設備制造商客戶的產品開發(fā)周期。”

這些重要專利為 Crossing 的 ExpressConnect™ 產品系列增添了新的功能，并將被 Crossing 主要的半導體生產設備市場采用。展望未來，Crossing 已經開始把這些專利應用于其它市場的生產設備，包括發(fā)光二極管 (LED) 和光伏 (PV) 等綠色技術以及生命科學領域。

下列關于這些新授予專利的簡要介紹顯示出了 Crossing 作為半導體及相關行業(yè)解決方案戰(zhàn)略供應商的地位：

Wafer Engine™(晶圓機器手臂)專利號：7,648,327

這項專利涉及 Crossing’s Wafer Engine™ (晶圓機器手臂) 。這是一個高速和高效率的晶圓輸送機器手臂的先進解決方案。它用于設備前端工序, 能服務兩至六個或更多的裝載端口。Wafer Engine™采用了一種經過現場驗證、占地少、重量輕的折疊型垂直移動軸，以及一個可執(zhí)行高速雙晶圓交換的雙滑動線性機器手臂裝置。該專利還描述了在機器手臂滑動體上配置晶圓對準和環(huán)境調節(jié)裝置的功能。Wafer Engine™是 Crossing 的 ExpressConnect 系統(tǒng)中的一個重要子系統(tǒng)，同時也是目前被眾多300毫米半導體晶圓廠采用的 Spartan™ EFEM and Sorter(設備前端和晶圓分揀機)產品系列取得成功的主要原因之一。

Variable Lot Size Loadport™ (可變批量設備前端工序晶圓裝載端口)，專利號：7,585,144 和 7,597,523

這項專利涉及一種符合 BOLTS 標準的晶圓裝載端口。該裝載端口配備了一個可垂直索引的容器支承裝置和一個可控的環(huán)境屏蔽罩。這些功能有助于實現晶圓處理設備的裝載端口與不同容量和/或構造的晶圓容器之間靈活的接口連接。也適用于不同規(guī)格的前開式晶圓盒 (FOUP)， 簡化其運輸器和處理設備之間的交接和兼容。

Ultra Low Contact Area End-Effector ™ (超小面積接觸的機器手臂的終端操作器)，專利號：7,669,903

這項專利適用于一種機器手臂的終端操作，支承與處理半導體晶圓或其他薄面基板的方法。它能夠最大限度地減低晶圓背面與機器手支承/夾持表面之間的關鍵接觸處粒子的產生和/或轉移。此外，這種終端操作器上的支承部件能夠適應可能因表面應力或重力而造成變形的非平面晶圓。此支承部件的晶圓接觸單元還可以在無需移除或調整終端操作器的情況下進行處理或替換。

Crossing 目前在世界范圍內持有124項專利，同時還擁有44項新的專利應用和等待審批。Crossing 直接制造、銷售和維修其所有產品。目前該公司的所有知識產權和技術沒有在任何國家和地區(qū)授權給第三方供應商。

CROSSING AUTOMATION 簡介

Crossing Automation 是一家為半導體設備制造商提供靈活、低成本和有效的前段及后段制造程序自動化解決方案及工程服務領域的領先供應商。該公司獨有的自動化解決方案使其客戶能夠縮短產品上市時間、降低開發(fā)成本，并減少生產總成本。通過其前段及后段制造過程自動化解決方案，Crossing 為設備制造商和集成電路制造商提供了極大的生產靈活性。

Crossing 的起點到終端的自動化平臺

Crossing Automation 的 ExpressConnectTM (自動化組件積木式模塊系列)為半導體制造業(yè)提供了占地少、成本低、生產力高的整合型大氣和真空基片輸送子系統(tǒng)。Crossing 還向設備制造商和半導體制造商提供眾多尖端且經濟有效的300毫米、200毫米和150毫米組件技術，包括隔離、機器手臂和追蹤。Crossing的系統(tǒng)架構采用極其可靠的線性傳輸設備和經過簡化的控制算法來提高效率和控制可靠性。這是實現全面、靈活的起點到終端的自動化解決方案的關鍵。