?一些關鍵半導體設備取得了長足的進步，從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現(xiàn)在的1～2代。

?國內半導體設備將逐步實現(xiàn)對國外產品的完全替代。

半導體仍未形成產業(yè)鏈

半導體產業(yè)的發(fā)達程度是衡量一個國家科技生產力強弱的重要標志之一。目前中國的半導體產業(yè)還很薄弱，無論是工業(yè)基礎還是人才力量以及國家的投入都屬于初級階段，距離世界先進水平還有很大距離?？梢哉f目前我國的半導體產業(yè)仍然未形成產業(yè)鏈，所以不管是設備還是材料都談不上什么支撐，即使是材料和設備業(yè)本身也缺乏國內基礎工業(yè)和本土人才的支撐。從長遠看，要在中國形成一條完整的產業(yè)鏈，還需要國家大量的資金投入和行業(yè)的技術積累，并且出臺政策鼓勵設計、制造、設備、材料等產業(yè)鏈重大環(huán)節(jié)的自主創(chuàng)新和產品開發(fā)。

由于中國半導體產業(yè)的上游設計和制造業(yè)相對落后，在國際市場上缺乏競爭力，國內IC制造大廠如中芯國際等的客戶仍然以國外客戶為主，而很多制造商本身的生產技術也處于國際的低端水平，所以很難對下游的國產設備和材料業(yè)形成有效支持，這就導致了設備業(yè)缺乏最終用戶的指導和市場機會，這是設備業(yè)難以支撐的首要原因。第二個原因是制造大廠將大量的設備需求都給了國外的公司，這使得國產設備難以做大。當然，中國的IC設備起步較晚，技術上落后較多，勉強達到跟蹤國外先進水平，不足以在產品上取得明顯領先的優(yōu)勢，從而在國外設備占得先機的情況下，難以取而代之，這也是國產設備業(yè)發(fā)展舉步維艱的第三個主要原因。

關鍵設備取得長足進步

隨著國家啟動專項的支持和推進，一些關鍵半導體設備也取得了長足的進步，從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現(xiàn)在的1～2代，至少我們有幾種設備可以在大生產線上替代國外設備。但是僅僅有幾臺設備國產化是遠遠不夠的，國家仍然沒有整線制造的能力。要形成具有自主能力的完整設備線和提供支撐的完整零部件產業(yè)鏈，還需要各個設備商共同、繼續(xù)的努力。而事實上，我們目前即使可以國產半導體設備，但超過設備30%的關鍵零部件還不具備國產化能力，仍然需要進口，使得國產設備的完全自主仍然十分艱難。這制約了國產設備的發(fā)展，需要盡快改變這種局面。

經歷了半導體產業(yè)的高速發(fā)展期，目前半導體技術節(jié)點提升進入了物理瓶頸。在此種背景下，市場的選擇是28～22納米為主，65～45納米為輔開發(fā)新產品，這種現(xiàn)象應該會持續(xù)3～5年。而更先進的8～5納米技術很可能會顛覆整個半導體產業(yè)現(xiàn)有技術和設備，能否被制造業(yè)接受還很難說。立足國內的現(xiàn)狀，設備業(yè)應該瞄準未來5年內仍然占據(jù)國內IC制造業(yè)主導地位的28～22納米技術完善產品，使其符合產業(yè)需求，力爭國內新市場。同時自主開發(fā)16～14納米設備，為2014年16～14納米新技術導入捕捉機會。

產業(yè)鏈健全期待政策扶持

工藝技術節(jié)點的不斷進步，以及新材料如碳化硅、納米材料等的出現(xiàn)，對設備業(yè)和材料業(yè)提出了更高的要求，希望國家盡快出臺相關政策支持設備業(yè)、材料業(yè)企業(yè)加大人才引進和資金投入力度，同時以設備業(yè)、材料業(yè)企業(yè)為龍頭和樞紐，扶持培養(yǎng)零部件基礎產業(yè)鏈。另外，可以由政府牽頭，加強設備、材料和上游設計制造行業(yè)的企業(yè)聯(lián)系，設備業(yè)加強自身的技術實力，開發(fā)適合市場的產品提供給上游的制造企業(yè)，提升設備、材料企業(yè)的自我造血機能。

未來，從產業(yè)發(fā)展角度講，作為整個半導體產業(yè)的基礎，設備和材料業(yè)應該以建立健全各自產業(yè)鏈、達到完全自主制造為目標，逐步實現(xiàn)對國外產品的完全替代。設備商作為系統(tǒng)集成技術的掌握者和用戶，應該是國家資金支持的主體，然后根據(jù)設備本身完全國產化的需要，去有的放矢地培養(yǎng)扶持優(yōu)質國產零部件制造商，而不是本末倒置，把資金放給零部件制造單位。這些零部件研發(fā)單位既不知道設備商的技術需求，又不知道市場的需求節(jié)點，完全閉門造車。

目前的半導體設備和材料在IC制造業(yè)客戶的導入和銷售都需要國家具體政策和資金的長期扶持，給設備制造商和制造業(yè)客戶以信心和保障。