用于液晶面板、有機(jī)EL面板以及電子紙等顯示面板驅(qū)動(dòng)用途的氧化物半導(dǎo)體TFT的研發(fā)越來(lái)越活躍。其中,作為驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL面板的有力候補(bǔ),氧化物半導(dǎo)體TFT更是備受期待。與原來(lái)采用非晶硅TFT相比,氧化物半導(dǎo)體TFT的載流子遷移率高達(dá)10cm2/Vs,是前者的10倍左右,這樣就便于提高有機(jī)EL面板的亮度。另外,氧化物TFT的特性不均較小,而且電流的時(shí)間變化也較少。因此,可輕松抑制有機(jī)EL面板的顯示不均現(xiàn)象,適于大面積化用途。另外,由于氧化物TFT可通過(guò)濺射法制造,因此導(dǎo)入時(shí)無(wú)需大幅改變現(xiàn)有的液晶面板生產(chǎn)線。?
鑒于上述優(yōu)點(diǎn),韓國(guó)LG顯示器(LG Display)、韓國(guó)三星電子(Samsung Electronics)以及臺(tái)灣友達(dá)光電(AU Optronics)等韓國(guó)和臺(tái)灣的大型面板廠商紛紛加大氧化物TFT的開(kāi)發(fā)力度,日本廠商則是最近才開(kāi)始大力開(kāi)發(fā)。
夏普在2009年12月舉行的顯示器技術(shù)國(guó)際學(xué)會(huì)“16th InternationalDisplay Workshops(IDW ’09)”上,公開(kāi)了采用氧化物TFT的2.6英寸QVGA(320×240像素)液晶面板。氧化物半導(dǎo)體采用了IGZO(In-Ga-Zn-O)。
凸版印刷的TFT采用了可進(jìn)行涂布的氧化物半導(dǎo)體。由于采用了涂布工藝,有望降低制造成本。該公司試制出了將制造工序中的最高溫度降至270℃的氧化物TFT。與采用原來(lái)涂布工藝制造的氧化物TFT相比,其最高溫度“要低100℃以上”(凸版印刷)。凸版印刷的試制品是在玻璃底板上制作的,通過(guò)旋轉(zhuǎn)覆蓋(Spin Coat)對(duì)氧化物半導(dǎo)體進(jìn)行涂布成膜。柵極絕緣膜以及源極等各個(gè)電極都可采用原來(lái)的制造工序。
雖然比不上采用濺射法制造的產(chǎn)品,但凸版印刷的試制品實(shí)現(xiàn)了與普通非晶硅TFT同等程度的特性,遷移率超過(guò)0.5cm2/Vs,開(kāi)關(guān)比超過(guò)105。特點(diǎn)是將電子紙和液晶面板的驅(qū)動(dòng)納入考慮范圍。凸版印刷已經(jīng)利用該試制品成功地驅(qū)動(dòng)了美國(guó)E Ink生產(chǎn)的2英寸電子紙。
凸版印刷研發(fā)的采用涂布型氧化物TFT的電子紙?jiān)囍瞥隽瞬捎猛坎夹脱趸?strong>半導(dǎo)體的TFT,并成功地驅(qū)動(dòng)了E Ink制造的電子紙(a)。特點(diǎn)是TFT制造工序中的最高溫度僅為270℃(b)。
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