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NanoPhotonics向ISMI出貨450mm晶圓檢測(cè)設(shè)備

時(shí)間：2009-02-22 22:13:34

關(guān)鍵字： ISM 晶圓檢測(cè)設(shè)備 PHOTON

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[導(dǎo)讀]NanoPhotonics與ISMI簽訂合約，將向ISMI出貨兩臺(tái)用于450mm晶圓的缺陷檢測(cè)設(shè)備。這兩臺(tái)設(shè)備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，兩臺(tái)設(shè)備將和450mm設(shè)備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協(xié)同測(cè)試試驗(yàn)臺(tái)。

NanoPhotonics與ISMI簽訂合約，將向ISMI出貨兩臺(tái)用于450mm晶圓的缺陷檢測(cè)設(shè)備。

這兩臺(tái)設(shè)備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，兩臺(tái)設(shè)備將和450mm設(shè)備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協(xié)同測(cè)試試驗(yàn)臺(tái)。

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