摘要： 多軸MEMS已成大勢所趨，ST已計劃開始量產九軸MEMS;亞德諾、飛思卡爾、Bosch Sensortec等MEMS供應商已相繼展開九軸單晶片產品部署;利順精密開始研發(fā)九軸 MEMS組件;僅研發(fā)陀螺儀的應美盛則透過第三方合作公司提供其他組件，繼六軸MEMS傳感器后，也開始積極投入發(fā)展九軸MEMS。
關鍵字： 穿戴式設備，單晶片
谷歌眼鏡的熱潮還未退去，穿戴式設備的手表熱、手環(huán)熱也紛紛登場。未來的智能穿戴式設備即將迎來爆發(fā)期，成為中外巨頭新的“競技場”。在過去一年中，國內外許多公司都開始研發(fā)智能穿戴式設備，自從谷歌眼鏡出來之后，蘋果剛好也要推出智能手表，在兩大巨頭的帶動下越來越多智能穿戴設備都火了，國外的有微軟Paparazzi、索尼SmartWatch以及新創(chuàng)企業(yè)的Pebble，醫(yī)療器械、運動裝備廠商也加入戰(zhàn)團，國內一些中小廠商紛紛準備推出相關產品?？纱┐骷夹g開始滲透醫(yī)療、娛樂、安全、財務等其他領域，這個行業(yè)或將引發(fā)下一場科技革命浪潮。而與之對應的是新一代的MEMS元件積極迎合智能穿戴式設備的需要，向整合陀螺儀、加速度計、磁力計與壓力感測器等多軸MEMS元件方向發(fā)展，九軸MEMS順勢開始登陸。
九軸微機電系統(tǒng)(MEMS)單晶片需求近期開始急速擴大。穿戴式電子、智能手機及平板電腦品牌商，為開發(fā)出具備更豐富人機介面且輕薄短小的產品，紛紛于旗下高階機種中，大舉導入九軸MEMS單晶片，帶動相關元件銷售量水漲船高。九軸微機電系統(tǒng)(MEMS)單晶片需求急速擴大。
多軸微機電系統(tǒng)(MEMS)已成大勢所趨，意法半導體已計劃開始量產九軸MEMS;亞德諾、飛思卡爾、Bosch Sensortec等MEMS供應商已相繼展開九軸單晶片產品部署;利順精密開始研發(fā)九軸 MEMS組件;僅研發(fā)陀螺儀的應美盛(InvenSense)則透過第三方合作公司提供其他組件，繼六軸MEMS傳感器后，也開始積極投入發(fā)展九軸MEMS產品。
ST與Google合作下一代作業(yè)系統(tǒng)版本 推動九軸MEMS應用
早在12年，意法就發(fā)布了內置九軸MEMS傳感器的STM32 F3開發(fā)套件以推動九軸MEMS的應用。日前，意法半導體類比與微機電元件資深技術行銷工程師李炯毅又透露，該公司正與Google洽談關于下一代作業(yè)系統(tǒng)版本的合作，預計Google下一代應用于移動設備的作業(yè)系統(tǒng)版本，將助力九軸MEMS單晶片在移動設備的市場版圖急速擴張。
李炯毅表示，不少智能眼鏡、智能手表及移動醫(yī)療等穿戴式電子產品制造商，正大量采購九軸MEMS單晶片，準備于今年開發(fā)出配備更多元化人機界面的終端裝置，以突顯產品的差異，搶占市場。
李炯毅進一步指出，現(xiàn)階段，除Windows 8平板必須配備九軸MEMS動作感測器外，Android智能手機和平板裝置，今年也將提高導入九軸MEMS單晶片的比重，以增加產品附加價值。
應美盛借助第三方提供其他組件大力發(fā)展九軸MEMS
正是看準穿戴式電子產品和移動設備搭載九軸MEMS單晶片的比重將快速攀升，應美盛透過第三方合作公司提供其他組件，繼推出六軸MEMS傳感器 后，又開始大力投入發(fā)展九軸MEMS產品;而Google發(fā)布的第一代智能眼鏡Google Glass中，就是采用的應美盛九軸MEMS單晶片。
據(jù)了解，雖然應美盛僅有陀螺儀此單一MEMS產品，但是為了搶攻九軸MEMS市場商機，應美盛透過第三方合作伙伴取得磁力計與加速度計，再以其特有的制程技術為后盾開發(fā)九軸產品。輔以整合多個傳感器于單一芯片上的強大能力加之應美盛獨有的互補式金屬氧化物 (CMOS)MEMS制程技術Nasiri，才開發(fā)出低成本、小尺寸、高性能的九軸MEMS。應美盛九軸MEMS成功整合了加速度計、陀螺儀與磁力計的演算技術，可為移動設備實現(xiàn)高精確、低耗電量的用戶體驗。
Bosch Sensortec構筑九軸MEMS產品線
除意法半導體與InvenSense外，Bosch Sensortec也已開始加快腳步，增加磁力計產品線，為日后九軸MEMS器件發(fā)展做好準備。繼六軸運動傳感器后，Bosch Sensortec也推出了三軸磁力計BMM150，借此構筑該公司九軸傳感器產品線。
Bosch Sensortec已經成為唯一可自制加速度計、陀螺儀、壓力計與磁力計的MEMS供應商，為九軸MEMS打下堅實的基礎。
Kionix利用軟體模擬方式讓六軸MEMS元件兼?zhèn)渚泡S感測功能
MEMS元件制造商Kionix正針對中低端便攜設備市場積極布局，大力研發(fā)以九軸MEMS元件為核心的新一代感測器融合方案。
由于目前九軸MEMS功耗及成本過高，難以吸引OEM的采納;因此，Kionix正大力開發(fā)以感測器融合(Sensor Fusion)軟件讓整合加速度計、磁力計的六軸方案實現(xiàn)九軸MEMS功能的軟件模擬的九軸MEMS方案。該方案可降低約20%成本與十倍功耗。
Kionix近期已利用軟體模擬方式，讓新一代六軸MEMS元件兼?zhèn)渚泡S感測功能，將于今年第三季導入量產。該方案透過Sensor Fusion演算技術整合加速度計位移和磁力計指向變化訊息后，進而模擬出陀螺儀角度偵測功能，實現(xiàn)高性價比的九軸方案。
飛思卡爾、ADI虎視眈眈
ADI、飛思卡爾開發(fā)基于MEMS的傳感器已經近30年了，一直是MEMS創(chuàng)新產品的領導者。繼ST與應美盛計劃將于年底量產九軸MEMS單晶片后，作為微機械IC行業(yè)的先鋒，他們會甘心落后嗎?
ADI已經推出集成加速度計和陀螺儀的六軸MEMS;而飛思卡爾則推出了加速度計和磁力計的六軸MEMS。正積極布局九軸MEMS。
成本的降低也將加速九軸MEMS普及
據(jù)了解，目前市面上九軸MEMS單晶片方案有兩種型式：其一是采用系統(tǒng)級封裝(SiP)技術整合一顆六軸和一顆三軸MEMS感測器，這類型方案由于生產技術較成熟，故相當普遍。另一種，則是使用SiP技術整合三顆三軸MEMS感測器的方案，具備更小尺寸的優(yōu)勢。[!--empirenews.page--]
盡管九軸MEMS單晶片市場成長強勁，但僅局限在高階移動設備市場，可能到2014年六軸MEMS感測器仍將是市場大宗。但是整合了三顆三軸MEMS感測器的九軸單晶片方案開發(fā)技術將更臻成熟，因此生產成本將可能再下降，單價有可能會較整合一顆六軸和一顆三軸感測器的九軸單晶片方案更低，屆時將可能在穿戴式電子產品和移動設備市場大幅普及，加速成長。
另外，未來穿戴式和移動設備中的MEMS器件除持續(xù)邁向高整合度設計趨勢外，也將導入MCU以達到智能控制功能;而可實現(xiàn)室內導航應用的壓力傳感器也將逐漸普及于移動設備中，為消費者帶來更佳的用戶體驗，也近一步刺激著各大巨頭的神經。
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