【導讀】美國紐約州尼亞加拉(2013年7月9日)- 精密真空產品和尾氣處理系統(tǒng)領先制造商及相關增值服務全球供應商Edwards 集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)最近加入了一個由全球十家半導體設備公司組成、旨在組建450mm晶圓制造設備聯(lián)盟(F450C)的工作組。這是全球450聯(lián)盟(G450C)的一個分小組，其建立是為了解決下一代450mm半導體晶圓制造設施的復雜開發(fā)和基礎設施要求。

摘要：  美國紐約州尼亞加拉(2013年7月9日)- 精密真空產品和尾氣處理系統(tǒng)領先制造商及相關增值服務全球供應商Edwards 集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)最近加入了一個由全球十家半導體設備公司組成、旨在組建450mm晶圓制造設備聯(lián)盟(F450C)的工作組。這是全球450聯(lián)盟(G450C)的一個分小組，其建立是為了解決下一代450mm半導體晶圓制造設施的復雜開發(fā)和基礎設施要求。

關鍵字：  Edwards公司，電氣系統(tǒng)

F450C辦公地點位于紐約州立大學阿爾巴尼分校的納米科學和工程學院(CNSE)，其成立是為了開發(fā)必要的關鍵設備技術，以確定有競爭力的設備解決方案，從而使450mm晶圓制造得以實現。Edwards 是聯(lián)盟中唯一一家代表真空和尾氣處理設備的公司，這體現了Edwards公司在半導體行業(yè)以及其他廣泛應用中的長期經驗和技術領先地位。

Edwards公司CEO Jim Gentilcore 評論道：“我們對于F450C聯(lián)盟內部的合作機會感到很高興，Edwards將可以把在真空和尾氣處理技術領域的技術專長和創(chuàng)新應用到產業(yè)的下一個巨大變革。聯(lián)盟成員之間的協(xié)作將是理解升級過渡中的各方面實際需求的關鍵，也將最終實現由450mm晶圓制造工藝所帶來的生產效率提高。”

G450C 主要為450mm制造設備和工藝技術提供指導，而F450C的目標則是開發(fā)向450mm晶圓制造過渡過程中必不可少的配套設備和基礎設施方案。這些方案可以解決更多超出450mm晶圓生產帶來的制造難題，因為下一代制造工廠帶來了設施設計、基板處理、工具連接、化學品分送、水和電氣系統(tǒng)以及許多其它領域的新挑戰(zhàn)。

2013年6月28日，紐約州州長Andrew M. Cuomo宣布，F450C在紐約州立大學納米科學和工程學院(CNSE)的成立帶來500多萬美元的新私人投資，并創(chuàng)造了多達150個高科技工作崗位。更多資訊，請參看新聞稿http://bit.ly/11Sj69S。

在SEMICON® West 2013展覽會期間將會舉辦一個450mm制造EHS論壇(450mm Manufacturing EHS Forum)，屆時將討論隨著制造商轉向450mm晶圓工藝而帶來的環(huán)境、健康和安全(EHS)問題，以及所產生影響和挑戰(zhàn)。Edwards將在論壇上做題為“綠色模式：集成實現電力(Utility)節(jié)省”的報告。更多資訊請瀏覽www.semiconwest.org。