應用材料公司Vantage RTP系統(tǒng)全球出貨量突破500臺
2010年11月30日,<STRONG>應用材料公司宣布第500臺Applied Vantage®快速熱處理(RTP)系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶,該系統(tǒng)被全球各地的芯片制造商用于先進存儲器和邏輯STRONG>芯片的制造。早在2002年上市時,Vantage系統(tǒng)就憑借其強大、緊湊的設計和一流的退火性能迅速贏得了客戶的認可。推出后短短兩年,該主機平臺就取得了市場領先地位,并一直保持至今。
市場調(diào)研公司Gartner Dataquest的報告顯示,應用材料公司是RTP技術領域當仁不讓的領軍企業(yè)。在燈管加熱RTP應用領域,2009年應用材料公司占據(jù)了大部分市場份額。除Vantage RTP系統(tǒng)外,應用材料公司已經(jīng)為遍布全球的客戶安裝了500多套Centura® RTP系統(tǒng)。所有這些都使得應用材料公司的RTP技術在過去的十年間一直是行業(yè)的首選,幾乎用于每一片微芯片的制造。
應用材料公司副總裁兼前道產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Sundar Ramamurthy表示:“Vantage系統(tǒng)能夠滿足客戶對性能、產(chǎn)能和可靠性的要求,幫助他們成功實現(xiàn)芯片的制造,奠定了應用材料公司在熱處理領域的領導地位。目前,我們還在繼續(xù)為Vantage主機平臺開發(fā)新的RTP解決方案,譬如Vantage Astra™毫秒退火技術,它解決了晶體管制造繼續(xù)拓展下去所面臨的挑戰(zhàn)。”
Vantage架構將兩個RadiancePlus™、RadOx™或Astra反應腔直接與應用材料公司的廠區(qū)接口相連,以最小的潔凈室空間實現(xiàn)產(chǎn)能的最大化。該系統(tǒng)獨特的靈活性能夠讓客戶在同一生產(chǎn)平臺上完成所有的燈管及激光加熱的處理工序,即毫秒、尖峰和均溫退火,以及多重氮化和氧化應用等。該系統(tǒng)作為一臺整機配送,從而將安裝時間減少到10天以下。





