【導(dǎo)讀】SVTC，300 mm化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)，Entrepix合作 SVTC技術(shù)公司今天宣布將與Entrepix合作，這項(xiàng)合作將提供SVTC使用徳州德克薩斯晶圓場(chǎng)Tool Access Program (TAP)客戶所需的所有300 mm化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的開(kāi)發(fā)和制造服務(wù).化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)在半導(dǎo)體制造是關(guān)鍵的制程步驟.  
    SVTC技術(shù)公司今天宣布將與Entrepix合作，這項(xiàng)合作將提供SVTC使用徳州德克薩斯晶圓場(chǎng)Tool Access Program (TAP)客戶所需的所有300 mm化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的開(kāi)發(fā)和制造服務(wù).化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)在半導(dǎo)體制造是關(guān)鍵的制程步驟.  

    "這合作允許我們各自利用公司的專(zhuān)長(zhǎng). SVTC能夠提供具有整套過(guò)程和計(jì)量工具的最先進(jìn)的制造環(huán)境， Entrepix則供應(yīng)豐富的CMP工程設(shè)計(jì)和操作的經(jīng)驗(yàn)."SVTC的公司業(yè)務(wù)務(wù)發(fā)展副總理Dave Anderson說(shuō).  

    根據(jù)這協(xié)議，一切利用SVTC 300 mm Tool Access Program (TAP)的CMP程序處理，技術(shù)支持和顧客交接將由Entrepix的工程隊(duì)在SVTC廠址執(zhí)行--這外包方式是根據(jù)Entrepix在它亞利桑那州坦佩市半導(dǎo)體工廠所采用的方式.  
   
    "利用我們根據(jù)加速成本節(jié)省，發(fā)展周期和獲利時(shí)效(time to revenue)的原則，所設(shè)計(jì)的整套CMP ’快速前進(jìn)’ (FastForward)的產(chǎn)品和服務(wù)，在我們的坦佩市工廠我們已經(jīng)展示了外包CMP制程的明顯的益處。." Entrepix的執(zhí)行長(zhǎng)Tim Tobin說(shuō). "通過(guò)與SVTC的合作，在其最先進(jìn)的工廠擴(kuò)大300mmCMP的服務(wù)使我們能夠?qū)ο冗M(jìn)的尖端技術(shù)提供同樣的好處.”  

    外包CMP在增長(zhǎng)中  

    在內(nèi)部資源收縮的情況下，降低成本和下一代產(chǎn)品的發(fā)展依然是半導(dǎo)體裝置和材料制造商的最高前提.因而外包CMP的趨向增長(zhǎng).在最近一篇"CMP Market Summary and Forecast Report"的報(bào)導(dǎo)，作市場(chǎng)分析的公司Laredo技術(shù)公司，預(yù)測(cè)CMP材料的總市場(chǎng)到公元2010年將超過(guò)美金17億元，.外包這復(fù)雜的CMP處理的步驟，可允許制造商利用所須的專(zhuān)門(mén)技術(shù)和制程資源.如果由制造商本身各自發(fā)展，這是非常昂貴，并且要花費(fèi)很多時(shí)間.  

    SVTC將外包給Entrepix對(duì)其TAP的客戶提供CMP核心服務(wù)，包括:實(shí)驗(yàn)的計(jì)劃和支持，工程設(shè)計(jì)方式的監(jiān)督和實(shí)施，資料的分析和報(bào)告，并能進(jìn)行測(cè)驗(yàn)性的生產(chǎn)活動(dòng). SVTC的Tool Access Program (TAP)則提供廠商使用200套以上的工具.這些工具可以用來(lái)完成下列的過(guò)程--微影技術(shù)(lithography)，蝕刻(etch)，化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)，清洗(cleaning)，涂刷(coating)，和計(jì)量(metrology).  

    "SemiQuest公司已經(jīng)應(yīng)用SVTC最先進(jìn)的的300 mm CMP TAP方案來(lái)發(fā)展我們最先進(jìn)的CMP研磨墊."耗材供應(yīng)商SemiQuest的總經(jīng)理Rajeev Bajaj博士說(shuō). "他們另有的計(jì)量?jī)x器和支援幫助我們縮短習(xí)用期間，節(jié)省費(fèi)用.我們盼望這新合作能使SemiQuest建立成功的事業(yè)."  

    “DuPont Air Products NanoMaterials已經(jīng)同時(shí)利用SVTC的300mm CMP TAP方案以及Entrepix工廠和設(shè)備的服務(wù)，對(duì)我們最先進(jìn)CMP的泥漿產(chǎn)品作特性分析和研發(fā).”電子研磨產(chǎn)品的首要供應(yīng)商DA NanoMaterials ，的市場(chǎng)和業(yè)務(wù)發(fā)展副總理， Ajoy Zutshi說(shuō). “我們很興奮的聽(tīng)到這新的協(xié)議，這協(xié)議達(dá)成的組合力將能進(jìn)一步的使DA NanoMaterials給市場(chǎng)在同類(lèi)問(wèn)題帶來(lái)最佳解決方法.”