全球領先的200mm純晶圓代工廠──華虹半導體有限公司與上海硅睿科技有限公司今日共同宣布，聯(lián)合推出新一代單芯片三軸陀螺儀QMG6982。這標志著由硅?？萍己腿A虹半導體共同研發(fā)和生產的國內首款完全擁有自主知識產權的單芯片三軸陀螺儀在上海問世。此為繼雙方2013年以來成功發(fā)布磁傳感器和加速度傳感器之后又一款里程碑的產品。該款陀螺儀芯片由硅睿科技自主研發(fā)，采用華虹半導體先進的微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術合作而成。雙方通過設計和工藝創(chuàng)新，首次將MEMS陀螺儀器件和專用集成電路(ASIC)器件集成在單一硅片上，從而簡化了內部連線，減少了內部封裝的綁定金線，提升了封裝可靠性，因此較上一代產品體現(xiàn)出更高的性能和良率。硅?？萍伎偛弥x志峰博士說，“陀螺儀是運動傳感器中最具挑戰(zhàn)性的一款產品，目前智能終端市場完全被少數幾個國際大公司的產品所壟斷。硅睿科技開發(fā)的QMG6982產品是國內MEMS設計企業(yè)的一次突破性創(chuàng)新，滿足了客戶對低成本和高性能MEMS傳感器日益增長的需求。其所具有的小尺寸、低功耗、高精度、抗干擾的優(yōu)異特點，再次證明硅?？萍嫉难邪l(fā)能力已達到國際先進水平。尤其值得一提的是，作為一家專注MEMS傳感器產品研發(fā)和生產的高科技企業(yè)，三年來，已與華虹半導體共同推出了五款傳感器產品。雙方日益成熟的戰(zhàn)略合作，進一步增強了各自在MEMS產業(yè)鏈上的優(yōu)勢地位，而雙方創(chuàng)導的『中國創(chuàng)造與中國制造』的理念，更凸顯出其技術和資本優(yōu)勢，并成為全球MEMS市場上的一支新興力量。 ”“憑借研發(fā)創(chuàng)新實力，華虹半導體在200mm CMOS-MEMS制造平臺上，成功實現(xiàn)了MEMS器件與標準CMOS工藝及生產線的全兼容，可為客戶提供單芯片集成CMOS-MEMS體硅和表硅工藝，幫助客戶提高傳感器產品的性能和競爭優(yōu)勢。華虹半導體將充分利用其業(yè)界領先的嵌入式存儲器、射頻以及超低漏電CMOS技術工藝，針對不同的傳感器應用，配以兼具功耗和面積優(yōu)勢的嵌入式存儲器IP，以此減小系統(tǒng)功耗，并降低芯片成本。同時使MEMS設計更為靈活，應用空間更為廣闊。”華虹半導體執(zhí)行副總裁傅城博士如是說。傅城博士還表示，“根據IHS的資料，MEMS傳感器市場于2014年的規(guī)模為93億美元，并預測于2019年增至130億美元，年復合增長率為7%。MEMS傳感器是華虹半導體一個新的增長機會。我們正在加大與硅睿科技的合作，共同開發(fā)新興高增長移動市場的MEMS傳感器，并延伸至應用于物聯(lián)網等其他MEMS傳感器市場。”