近日消息，長江存儲從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購的一臺光刻機（非EUV光刻機）已抵達武漢。這臺光刻機價值高達7200萬美元，約合人民幣4.6億元。

此外，中芯國際中芯國際也向阿斯麥下單了一臺價值高達1.2億美元的EUV(極紫外線)光刻機，1.2億美元!中芯國際下單ASML EUV光刻機。這臺機器預計將于2019年初交貨。

荷蘭當?shù)孛襟w《埃因霍溫經(jīng)濟報》也證實了上述消息。

從飛利浦獨立出來的阿斯麥公司在高端光刻機領(lǐng)域占據(jù)了全球90%的市場份額。光刻機(又稱曝光機)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設備，對芯片工藝有著決定性的影響。

如今，中國兩家企業(yè)先后訂購了兩臺高端光刻機，總價值約12.3億元人民幣。阿斯麥ASML公司從行動上否認有媒體關(guān)于“高端光刻機對中國大陸禁運”的傳聞，強調(diào)對中國大陸客戶一視同仁。

此外，阿斯麥公司接受中芯國際訂單的時間點是在今年4月中興通訊遭遇美國制裁之后。

長江存儲迎來第一臺光刻機

2016年，紫光集團與國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北科投等合資成立了長江存儲，注冊資本額為人民幣386億元。長江存儲公司是中國高端芯片聯(lián)盟發(fā)起單位之一，被寄望推動中國半導體產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)。

據(jù)報道，長江存儲訂購的這臺光刻機采用193nm沉浸式設計，可生產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，售價達7200萬美元，約合人民幣4.6億元。

目前，該機已經(jīng)運抵武漢天河機場，相關(guān)入境手續(xù)辦理完畢后，即可運至長江存儲的工廠。

根據(jù)官網(wǎng)資料，2016年底，國家存儲器基地項目(一期)一號生產(chǎn)和動力廠房在武漢正式開工建設，2017年9月底提前封頂，2018年4月5日首批價值400萬美元的精密儀器進場安裝。

國家存儲器基地項目芯片生產(chǎn)機安裝儀式

目前，長江存儲擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的32層堆疊3D NAND閃存已經(jīng)開始試產(chǎn)，不少產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)都拿到了樣片測試，預計今年第四季度量產(chǎn)。同時，長江存儲還在推進64層堆疊3D閃存，力爭2019年底實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，將與世界領(lǐng)先水平差距縮短到2年之內(nèi)。