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CyberOptics推出掩模版檢測設(shè)備

時間：2006-05-16 14:47:26
關(guān)鍵字： OPTICS    檢測設(shè)備    SENSE    WAFER   
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[導(dǎo)讀]據(jù)Semiconductor Reporter網(wǎng)站報道， CyberOptics半導(dǎo)體公司日前宣布已開發(fā)出掩模版形狀的無線自動水平檢測系統(tǒng)，將用于掩模版夾持設(shè)備的自動檢測。該檢測系統(tǒng)將幫助使用者防止對準(zhǔn)偏差、刮擦、以及顆粒產(chǎn)生。有助于

據(jù)Semiconductor Reporter網(wǎng)站報道， CyberOptics半導(dǎo)體公司日前宣布已開發(fā)出掩模版形狀的無線自動水平檢測系統(tǒng)，將用于掩模版夾持設(shè)備的自動檢測。該檢測系統(tǒng)將幫助使用者防止對準(zhǔn)偏差、刮擦、以及顆粒產(chǎn)生。有助于提高良率和掩模版使用壽命。這套編號為WaferSense ALSR的系統(tǒng)是在原先WaferSense ALS的基礎(chǔ)上開發(fā)出來。使用傳感器檢測掩模版的傾斜狀況，并通過無線信號與機(jī)器溝通進(jìn)行調(diào)整，保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行。該設(shè)備可以保證+/-0.3度以內(nèi)的傾斜角度。

來源：SEMI

作者：zhaobin

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