激光干涉儀是以以激光為光源的干涉儀器，可以測量線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工具。如檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度等，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。

激光干涉儀具有哪些功能特點？應該如何維護保養(yǎng)？

1、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性等。

2、激光干涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。

3、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。

4、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。

5、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。

6、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。

7、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

8、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。

9、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{整部件。

10、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。