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[導讀] 21ic訊,Aerotech 現(xiàn)已推出一個新系列的 XY 壓電納米定位器,用于精度要求 極高的場合。據(jù)該公司報告稱,QNP-XY 平臺以與其它類似的尺寸和行程范圍的定位器相比 具有最高的諧振頻率和剛度,使用戶能夠在嚴格的加工

 21ic訊,Aerotech 現(xiàn)已推出一個新系列的 XY 壓電納米定位器,用于精度要求 極高的場合。據(jù)該公司報告稱,QNP-XY 平臺以與其它類似的尺寸和行程范圍的定位器相比 具有最高的諧振頻率和剛度,使用戶能夠在嚴格的加工過程中實現(xiàn)更高的產(chǎn)能。

應用包括:測試與檢測、工業(yè)與科研實驗室、納米技術、顯微鏡、半導體、微電子、光學、光電、數(shù)據(jù)存儲、精密機械、金屬、生命科學、醫(yī)療器械等。

該平臺具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的直線度和 2 nm 的重復,能夠滿足從顯微鏡到光學對準等最嚴苛的應用需求。其行程范圍從 100 µm 到 600 µm。

QNP 壓電平臺由無摩擦柔性鉸鏈導向,用有限元分析法進行優(yōu)化來實現(xiàn)快 速閉合環(huán)路響應。這種集成式 XY 組合平臺使整體高度和運動質量都達 到最小,因而具有優(yōu)異的靜態(tài)和動態(tài)多軸性能。

如果與 Aerotech 的 Q 系列控制器和驅動器一起使用,該平臺可具有亞納 米級定位精度和定位穩(wěn)定度及高定位帶寬,無論是否帶有電容感測器反饋都具備上述性能,并且具有眾多軟件選項。

Aerotech 是領先全球的定位和運動控制產(chǎn)品供應商,其服務對象包括工業(yè)、 政府、科研和研究機構。其產(chǎn)品為那些對于高定位精度、高產(chǎn)能運動控制解決方案有著苛刻要求的應用場合提升了顯著的性能指標。

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