MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器，整個(gè)流程工藝簡(jiǎn)單標(biāo)準(zhǔn)，薄膜材料選擇單晶硅，采用接觸式結(jié)構(gòu)，利用陽極鍵合形成真空腔，最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜。試驗(yàn)結(jié)果表明，該傳感器適用于氣象壓力測(cè)量。

Epcos收購(gòu)NXP的RF MEMS業(yè)務(wù)

德國(guó)無源器件供應(yīng)商Epcos AG宣布收購(gòu)恩智浦半導(dǎo)體(NXP Semiconductors)的RF MEMS業(yè)務(wù)。Epcos希望通過此舉進(jìn)入一個(gè)規(guī)模達(dá)300萬歐元的市場(chǎng)。 Epcos在新聞稿中表示，RF MEMS可以幫助把手機(jī)的功耗最多降低25%。

FrostSullivan：MEMS測(cè)試設(shè)備急需低成本、標(biāo)準(zhǔn)化

市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Frost & Sullivan公司最新報(bào)告稱，目前MEMS測(cè)試設(shè)備價(jià)格高昂，低成本標(biāo)準(zhǔn)化成迫切需求。報(bào)告稱，2007年全球MEMS測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)額為5650萬美元，而到2014年將增長(zhǎng)到1.202億美元。目前MEMS器件制造商必須面對(duì)

基于ARM與MEMS器件的微慣性測(cè)量裝置設(shè)計(jì)

開發(fā)一種生物運(yùn)動(dòng)微慣性測(cè)量裝置，以基于ARM7的LPC2129為核心處理單元，采用MEMS陀螺和MEMS加速度計(jì)為測(cè)量傳感器。

基于ARM與MEMS器件的微慣性測(cè)量裝置設(shè)計(jì)

基于ARM與MEMS器件的微慣性測(cè)量裝置設(shè)計(jì)

高通大舉進(jìn)軍手機(jī)顯示屏領(lǐng)域

專業(yè)芯片廠商高通（Quanlcomm）最近對(duì)手機(jī)顯示屏領(lǐng)域表現(xiàn)出濃厚興趣，認(rèn)為這是除手機(jī)芯片之外的另一個(gè)業(yè)務(wù)增長(zhǎng)點(diǎn)。高通發(fā)明了可用于手持設(shè)備的MEMS顯示屏。MEMS的優(yōu)點(diǎn)在于既能顯著降低掌上設(shè)備顯示屏的功耗，又能提高

飛思卡爾建成先進(jìn)的200-mm MEMS生產(chǎn)線

華飛微電子：國(guó)產(chǎn)高檔光刻膠的先行者

光刻膠是集成電路中實(shí)現(xiàn)芯片圖形轉(zhuǎn)移的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)材料，在光刻膠的高端領(lǐng)域，技術(shù)一直為美國(guó)、日本廠商等所壟斷;近年來，本土光刻膠供應(yīng)商開始涉足高檔光刻膠的研發(fā)與生產(chǎn)，蘇州華飛微電子材料有限公司就是其中一家

MEMS振蕩器101(圖)

WTC：RF MEMS開關(guān)市場(chǎng)將呈現(xiàn)爆炸性增長(zhǎng)

RFMD MEMS技術(shù)將在RF應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)突破性整合

日前，RF">RF Micro Devices(RF">RFMD">RFMD)宣布推出專有微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) - 面向 RF 及其他應(yīng)用的技術(shù)。RFMD 期望其專有的 MEMS 技術(shù)將在 RF 及其他應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)突破性的性能及空前水平的功能整合。RFMD 推出的第一