極紫外線(xiàn)光刻機(jī)是芯片生產(chǎn)工具，是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，對(duì)芯片工藝有著決定性的影響。小于5納米的芯片晶圓，只能用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。2018年4月，中芯國(guó)際向阿斯麥下單了一臺(tái)EUV(極紫外線(xiàn))光刻機(jī)，于2019年初交貨。阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機(jī)市場(chǎng)份額。最新的兩代高端光刻機(jī)領(lǐng)域，即浸入式(Immersion)和極紫外線(xiàn)式(EUV)光刻機(jī)，全部由阿斯麥掌握核心技術(shù)。

光刻機(jī)(又稱(chēng)曝光機(jī))是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠(chǎng)家掌握。光刻機(jī)的作用是掃描曝光芯片晶圓，刻蝕集成電路。精度越高的光刻機(jī)，能生產(chǎn)出納米尺寸更小，功能更強(qiáng)大的芯片。小于5納米的芯片晶圓，只能用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。

大家都知道，光刻機(jī)是生產(chǎn)制造芯片必不可少的設(shè)備，而全球只有四家先進(jìn)的光刻機(jī)廠(chǎng)商，分別是荷蘭ASML、日本佳能和尼康、上海微電子，其中ASML是光刻機(jī)領(lǐng)域的“天花板”，不僅可以生產(chǎn)制造DUV光刻機(jī)，還可以生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，同時(shí)也是全球唯一一家可以生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠(chǎng)商。

毫不夸張地說(shuō)，ASML幾乎拿捏了全球半導(dǎo)體芯片行業(yè)的“生殺大權(quán)”，從三星、臺(tái)積電都求著ASML出售光刻機(jī)就能看出來(lái)。要知道，臺(tái)積電之所以能成為全球最大的芯片代工廠(chǎng)，就是因?yàn)橘?gòu)買(mǎi)了大量ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)。因此，EUV光刻機(jī)的重要性就不言而喻了。

然而，光刻機(jī)的缺失也是我們半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)遇到的最大的難題，尤其是EUV光刻機(jī)，并非是我們買(mǎi)不起，而是因?yàn)锳SML生產(chǎn)線(xiàn)上包含了美技術(shù)和配件，在老美擅自修改規(guī)則之內(nèi)，所以，ASML不能自由供貨給中國(guó)企業(yè)。

伴隨著芯片危機(jī)和科技制裁等熱議話(huà)題的出現(xiàn)，光刻機(jī)尤其是極紫外和深紫外EUV光刻機(jī)不可避免的成為時(shí)下科技界議論與發(fā)展的對(duì)象。因?yàn)樵谛酒闹圃爝^(guò)程中，光刻機(jī)是個(gè)無(wú)法規(guī)避的核心設(shè)備，尤其是7nm制程以下的先進(jìn)制程，更是離不開(kāi)先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，少了它，即使代工領(lǐng)域強(qiáng)如臺(tái)積電，也只能感慨巧婦難為無(wú)米之炊。

但是，EUV光刻機(jī)在全球范圍內(nèi)又可以說(shuō)少的可憐，先進(jìn)的EUV光刻機(jī)可以說(shuō)是100%被荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML所壟斷，但由于它是集各大國(guó)科技之長(zhǎng)，導(dǎo)致ASML的產(chǎn)能也非常有限。據(jù)統(tǒng)計(jì)報(bào)道，ASML的EUV光刻機(jī)每年也僅僅能生產(chǎn)30～40臺(tái)，產(chǎn)能一直處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。

當(dāng)然，產(chǎn)能有限并不影響市場(chǎng)需求，面對(duì)著無(wú)限擴(kuò)大的芯片市場(chǎng)，尤其是亞洲市場(chǎng)，ASML不可能無(wú)動(dòng)于衷。而在ASML CEO的此次韓國(guó)造訪(fǎng)過(guò)程中，關(guān)鍵還確認(rèn)了一份其在今年5月宣布的計(jì)劃，即阿斯麥將計(jì)劃投資2400億韓元，在韓國(guó)華城建立一個(gè)用于極紫外和深紫外光刻機(jī)設(shè)備的高科技研發(fā)中心，其中包括制造工廠(chǎng)和培訓(xùn)中心，預(yù)計(jì)2025年落成。

當(dāng)通用等車(chē)企宣布減產(chǎn)的時(shí)候，我們還只是以為汽用芯片短期內(nèi)不夠用，但是當(dāng)蘋(píng)果也宣布減產(chǎn)計(jì)劃的時(shí)候，也就更加意識(shí)到缺芯已經(jīng)是很?chē)?yán)重的事情。而美一方面為了是芯片制造回流，一方面為了能夠掌握該領(lǐng)域的具體情況，于是不僅邀請(qǐng)三星、臺(tái)積電過(guò)去建廠(chǎng)，還拿出520億作為補(bǔ)貼，刺激本土相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，但更是要求臺(tái)積電、三星上交相關(guān)數(shù)據(jù)。

本來(lái)特不靠譜修改出口規(guī)則之后大家都有所行動(dòng)，如今看來(lái)，在缺芯和“自主”的情況下，全球擴(kuò)產(chǎn)也是勢(shì)在必行。造芯必然是需要使用到生產(chǎn)設(shè)備，而荷蘭的EUV光刻機(jī)也就顯得更加重要，因?yàn)榫湍壳岸砸仓挥蠥SML能夠制造出來(lái)，但因?yàn)樾枨罅窟^(guò)大，據(jù)說(shuō)到了現(xiàn)在手里還積攢幾十億歐元的訂單沒(méi)有交貨。偏偏在最近，ASML頻繁出來(lái)動(dòng)作，這使得三星、臺(tái)積電都沒(méi)有想到，而網(wǎng)友更是直呼，這針對(duì)性是不是太明顯了?ASML示好國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，目的也很明確。

前段時(shí)間ASML對(duì)外表示，現(xiàn)在可以自由出貨DUV光刻機(jī)于華，至于EUV光刻機(jī)還沒(méi)有啥動(dòng)靜。我們知道現(xiàn)在哪怕是14nm也是需要EUV光刻機(jī)的，更別說(shuō)先進(jìn)的7nm和5nm，DUV光刻機(jī)能夠自由出貨自然是好事，只不過(guò)就目前來(lái)看，這是定在了成熟工藝范圍內(nèi)。為啥ASML會(huì)示好中國(guó)?其實(shí)道理很簡(jiǎn)單，那就是市場(chǎng)問(wèn)題。

光刻機(jī)制造技術(shù)最先進(jìn)的廠(chǎng)商是ASML，因?yàn)樵谥懈叨斯饪虣C(jī)領(lǐng)域內(nèi)，ASML幾乎占領(lǐng)了市場(chǎng)，尤其是EUV光刻機(jī)，目前僅有ASML能夠研發(fā)制造。

要知道，EUV光刻機(jī)是目前最先進(jìn)的光刻機(jī)，更是目前唯一能夠用于生產(chǎn)制造7nm及以下芯片的光刻機(jī)設(shè)備。

由于EUV光刻機(jī)的技術(shù)過(guò)于先進(jìn)，臺(tái)積電、三星、英特爾等芯片制造企業(yè)都在爭(zhēng)奪EUV光刻機(jī)訂單。

一旦國(guó)產(chǎn)元器件打入ASML光刻機(jī)供應(yīng)鏈中，其進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)自由出貨并不是沒(méi)有可能的。

最后，ASML擴(kuò)大在國(guó)內(nèi)的研發(fā)中心，實(shí)際上就讓國(guó)內(nèi)團(tuán)隊(duì)參與到光刻機(jī)相關(guān)技術(shù)的研發(fā)與設(shè)計(jì)中，也能夠促進(jìn)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)技術(shù)的發(fā)展。

數(shù)據(jù)顯示，ASML光刻機(jī)中的部分技術(shù)就是國(guó)內(nèi)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的，而國(guó)內(nèi)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的技術(shù)越多，這意味著ASML光刻機(jī)中的美系技術(shù)占比就會(huì)越少。