這項(xiàng)突破性技術(shù)使生命科學(xué)和醫(yī)療保健領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)可擴(kuò)展、高精度的生物傳感器應(yīng)用成為可能

比利時(shí)魯汶2025年12月10日 /美通社/ --

• Imec首次成功在300毫米晶圓上采用EUV光刻技術(shù)制造晶圓級(jí)固態(tài)納米孔。 這項(xiàng)創(chuàng)新將納米孔技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的概念轉(zhuǎn)化為可擴(kuò)展的平臺(tái)，適用于生物傳感、基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)領(lǐng)域。
• 納米孔技術(shù)被譽(yù)為基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)的變革者，但迄今為止，固態(tài)納米孔因存在變異性和集成難題，始終未能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。 Imec的突破為高通量、兼容CMOS的生物傳感器陣列鋪平了道路，有望推動(dòng)個(gè)性化醫(yī)療、快速診斷和分子數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的開(kāi)發(fā)。
• 其采用EUV光刻技術(shù)在300毫米晶圓上實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)制造，制備出尺寸小至約10納米的納米孔，且在整個(gè)晶圓上具有高度均勻性。 該制造工藝有潛力實(shí)現(xiàn)小于5納米孔徑，隨著工藝集成技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，有望取得更大突破。 電氣和生物分子易位表征顯示其信噪比高達(dá)6.2。
• "Imec具有實(shí)現(xiàn)這一飛躍的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。 我們可將傳統(tǒng)上用于存儲(chǔ)和邏輯領(lǐng)域的EUV光刻技術(shù)應(yīng)用于生命科學(xué)領(lǐng)域。 利用我們的光刻基礎(chǔ)設(shè)施，我們已證明能以分子傳感所需的精度大規(guī)模制造固態(tài)納米孔，"imec的第一作者及研發(fā)項(xiàng)目經(jīng)理Ashesh Ray Chaudhuri表示， "這為醫(yī)療保健及其他領(lǐng)域的高通量生物傳感器陣列創(chuàng)造了可能。"

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Imec是先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域世界領(lǐng)先的研究和創(chuàng)新中心。 Imec利用一流的研發(fā)基礎(chǔ)設(shè)施和6,500多名員工的專(zhuān)業(yè)知識(shí)，推動(dòng)半導(dǎo)體和系統(tǒng)擴(kuò)展、人工智能、硅光子學(xué)、連接和傳感領(lǐng)域的創(chuàng)新。

Imec的先進(jìn)研究為各行各業(yè)的突破提供支持，包括計(jì)算機(jī)、健康、汽車(chē)、能源、信息娛樂(lè)、工業(yè)、農(nóng)業(yè)食品生產(chǎn)和安全。 通過(guò)IC-Link平臺(tái)，imec為企業(yè)提供芯片研發(fā)全流程指導(dǎo)——從初始概念到大規(guī)模量產(chǎn)，從而打造定制化解決方案，精準(zhǔn)滿(mǎn)足最前沿的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)需求。

Imec與半導(dǎo)體價(jià)值鏈的全球領(lǐng)先企業(yè)以及佛蘭德斯地區(qū)和全球的科技企業(yè)、初創(chuàng)企業(yè)、學(xué)術(shù)界和研究機(jī)構(gòu)開(kāi)展合作。 Imec總部位于比利時(shí)魯汶，在比利時(shí)、歐洲各地和美國(guó)設(shè)有研究設(shè)施，并在三大洲設(shè)有代表處。 2024年，imec報(bào)告營(yíng)收10.34億歐元。