系統(tǒng)架構

最容易想到的多站點測試儀是迷你測 試儀系統(tǒng)。每臺迷你測試儀包含了在一個站點上運行一系列測試所需的全部資源。 圖3示出了兩臺迷你測試儀組成的系統(tǒng)。每臺迷你測試儀含有幾個模擬源-測量單 元(SMU)、一個測試定序儀/控制器，和 一個開關矩陣選件。獨立控制器能讓每臺 迷你測試儀的操作獨立于其它迷你測試儀 和系統(tǒng)控制器。這樣，系統(tǒng)控制器不用選通測試的運行，而是啟動測試序列并整理 產(chǎn)生的測試數(shù)據(jù)。 吉時利的ACS集成測試系統(tǒng)通過吉時 利2600系列數(shù)字源表支持迷你測試儀架 構。通過使用TSP-LinkTM 可擴展虛擬背板專利技術和嵌入式腳本處理，可以將幾組 2600系列裝置組成迷你測試儀。 迷你測試儀的分布式本質(zhì)能極大提高 吞吐量。使用真正的并行測試，完全測試 圖2中的4個FET測試站的耗時比順序測試儀完成4個FET第一項測試的用時短(如圖 4所示)。

圖3. 并行測試系統(tǒng)架構

圖4. 順序測試和并行測試的比較

易于使用

在執(zhí)行并行測試工程時，測試工程師要面臨幾項潛在挑戰(zhàn)。 其中包括在全自動探測器環(huán)境中建立測試序列并執(zhí)行測試。吉時利的自動特性分析套件(ACS)軟件(圖5)通過提供以下內(nèi) 容的直觀用戶界面應對這些挑戰(zhàn)： • 晶圓說明 • 測試設置 • 探測器控制 • 自動化 • 匯總報告 ACS實現(xiàn)了晶匣級和晶圓級自動化，所以能對全部晶匣的晶 圓進行高吞吐量并行測試。ACS還包括實時分級裝倉圖和繪制功能(圖6)。

圖5. ACS測試設置用戶界面的并行測試特性使2600系列的編程就像點、 擊和輸入測試參數(shù)那樣簡單。

圖6. ACS自動監(jiān)控屏實時顯示用色碼表示的分級結果。

結論

面市時間延長和測試成本壓力增大意味著測試工程師必須用 更少的投入做更多的事。憑借吉時利久經(jīng)驗證的儀器和測量，ACS 集成測試系統(tǒng)填補了基于交互式實驗室工具與高吞吐量生產(chǎn)測試 工具之間的空白。 圖1所示的ACS集成測試系統(tǒng)特別適于管芯分選的多站點并行測試、高級可靠性和其它高吞吐量應用。2600系列儀器利用 嵌入式測試腳本處理實現(xiàn)的分布式測試排序性能具有高速并行測試能力。