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機臺交期延DRAM廠制程微縮絆腳石

時間：2010-01-26 10:14:55

關鍵字： DRAM 爾必達制程技術美光

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[導讀]2010年臺DRAM廠將決戰(zhàn)50和40奈米制程技術，但新制程關鍵恐未必在技術上，而在于浸潤式微顯影(ImmersionScanner)機臺設備采購是否能跟上腳步，近期業(yè)界傳出瑞晶機臺原本2月要交貨，但目前交期已遞延至4月，南亞科和華

2010年臺DRAM廠將決戰(zhàn)50和40奈米制程技術，但新制程關鍵恐未必在技術上，而在于浸潤式微顯影(ImmersionScanner)機臺設備采購是否能跟上腳步，近期業(yè)界傳出瑞晶機臺原本2月要交貨，但目前交期已遞延至4月，南亞科和華亞科之前亦傳出機臺交貨不及，公司則澄清前期機臺已順利拉進來，轉換制程進度一切正常。

DRAM廠決戰(zhàn)50和40奈米制程技術最大挑戰(zhàn)是資金問題，其中，機臺購置成本占相當大比重，由于1臺機臺設備動輒要價新臺幣10億元，且每臺機器產(chǎn)能約僅1萬片，若1座產(chǎn)能達10萬片的12寸晶圓廠要轉換制程，光是機臺支出便高達100億元，因此，大部分DRAM廠2009年都無力轉進50奈米制程。

隨著DRAM景氣逐漸復蘇，各廠開始為轉進50奈米制程做準備，并針對機臺下訂單，由于從下訂到交貨需要很久時間，日前甚至傳出三星電子(SamsungElectronics)將設備廠機臺產(chǎn)能都包下，使得其它DRAM廠很難訂到貨，趁機阻礙競爭對手制程微縮進度，盡管臺廠與國際大廠聯(lián)合采購機臺較具優(yōu)勢，象是南亞科、華亞科與美光(Micron)共同采購，力晶、瑞晶則與爾必達(Elpida)一起采購，但仍不斷傳出交期遞延消息。

瑞晶原本2月要到貨的機臺已遞延至4月交貨，其計劃第2季將導入45奈米制程；之前則傳出南亞科和華亞科機臺交期延后，但公司澄清前期機臺到貨時程順利，只剩下后期機臺還未進來，但不會影響轉換50奈米制程速度。事實上，瑞晶原評估旗下8萬片12寸晶圓產(chǎn)能轉進50奈米制程需要10臺機臺，但若轉入45奈米制程，在減少光罩數(shù)后，只需要6臺機臺，公司形容這是窮人版制程微縮產(chǎn)品。

爾必達陣營原本2009年評估要導入50奈米制程時，就預定機臺設備，但后來決定跳過50奈米，直攻45奈米制程，機臺拉貨則同步進行。爾必達和力晶、瑞晶2010年將一舉轉進45奈米制程，爾必達45奈米2009年底宣布量產(chǎn)，瑞晶將在第2季導入生產(chǎn)，2010年底前8萬片產(chǎn)能全數(shù)轉進45奈米制程，第1季會先轉2萬片產(chǎn)能到63奈米XS版本試水溫，成本可較目前65奈米制程減少20%。

至于南亞科和華亞科正積極轉進50奈米制程，在42奈米制程則將提前1季導入，其系由美光和南亞科共同研發(fā)，該陣營對于42奈米制程相當具信心，認為是目前40奈米制程世代成本競爭力最佳者。