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[導讀]臺積電(TSMC)日前在臺中科學園區(qū)舉行第三座12寸超大型晶圓廠(GIGAFAB)──晶圓15廠動土典禮。晶圓15廠是臺積電第二座具備28納米制程能力的超大型十二寸晶圓廠,基地面積18.4公頃,總建筑面積430,000 平方公尺,預計規(guī)

臺積電(TSMC)日前在臺中科學園區(qū)舉行第三座12寸超大型晶圓廠(GIGAFAB)──晶圓15廠動土典禮。晶圓15廠是臺積電第二座具備28納米制程能力的超大型十二寸晶圓廠,基地面積18.4公頃,總建筑面積430,000 平方公尺,預計規(guī)劃晶圓廠兩棟、辦公室一棟,總潔凈室面積為104,000平方公尺(約14座足球場大)。

晶圓15廠是臺積電第三座每個月超過十萬片十二寸晶圓的超大型十二寸晶圓廠,未來幾年內的總投資金額將超過新臺幣3,000億元。其中第一期廠房預計于明 (2011)年六月開始裝機,并于后年(2012)第一季開始量產,為客戶生產40納米及28納米的產品。之后將繼續(xù)隨著臺積電先進技術的發(fā)展,導入更先進世代的制程。

臺積電董事長兼總執(zhí)行長張忠謀表示,未來隨著晶圓15廠產能陸續(xù)開出,將可望創(chuàng)造8000個優(yōu)質的工作機會。

為了積極響應客戶對產能的高度需求,在晶圓15廠動土興建的同時,臺積電不斷進行位于竹科晶圓12廠以及南科晶圓14廠的產能擴充。目前晶圓12廠與晶圓 14廠兩座十二寸超大型晶圓廠的單月產出量,合計已經超過二十萬片十二寸晶圓,預計今年底這兩座廠房的單月建置產能更將擴充至二十四萬片十二寸晶圓的規(guī)模。

此外,為落實節(jié)能減碳、永續(xù)經營的目標,晶圓15廠也將是臺積電繼晶圓12廠及晶圓14廠之后又一座綠色廠房,在設計時即采用多項污染防治設施與綠色節(jié)能的概念,包括85%制程水回收率、雨水回收再利用、一般熱排氣(General Exhaust)循環(huán)再利用、同時發(fā)展太陽能發(fā)電與LED照明的應用技術,期望能達到溫室效應氣體零排放的目標。



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