日立有限公司與瑞薩科技公司（Renesas Technology Corp.）今天發(fā)布了低功耗相位轉換存儲器單元的成功原型。這種非易失半導體存儲單元可以在電源電壓為1.5V和電流低至100μA的條件下進行編程——與采用以前技術的日立和瑞薩發(fā)布的產品相比，每個單元的功耗降低了50％。此外，相對于現(xiàn)有的非易失存儲器，新的相位轉換單元在高速讀寫能力、編程耐久性、小尺寸和高水平集成方面均更為優(yōu)異。因此，這些原型可在下一代微控制器中為諸如信息設備、家用電器，以及車載設備和控制系統(tǒng)等嵌入式應用的片上編程和數據存儲提供一種頗具前途的解決方案。

該原型單元采用130納米CMOS工藝制造。其結構采用了MOS晶體管和一層在熱響應中呈非晶體狀態(tài)*（高阻抗）或晶狀（低阻抗）的相位轉換薄膜。兩種狀態(tài)的編程是通過180納米直徑的鎢下電極接點（BEC）實現(xiàn)的。在一次讀操作中，存儲的數字（1或0）信息是由薄膜中電流流動量的差別決定的。

為了獲得突破性的功耗效果，日立和瑞薩的研究人員開發(fā)了一種原創(chuàng)的具有低電壓編程能力的低電流相位轉換薄膜。他們利用一種受控制的鍺-銻-碲（GeSbTe）氧摻雜材料生長出了這種薄膜。氧摻雜能夠使相位轉換薄膜的阻抗限制在一個最理想的水平，同時可抑制編程期間過大的電流流過。此外，該單元的實現(xiàn)可以減少形成這些單元的MOS晶體管的門寬度，以及驅動輸出MOS晶體管的數量，從而有助于縮小存儲器單元和驅動電路的尺寸。

突破性的低功耗MOS相位轉換存儲器單元技術的細節(jié)已在2005年12月5日于美國華盛頓特區(qū)舉行的國際電子器件會議上宣讀的技術論文中披露。