據(jù)Semiconductor Reporter網(wǎng)站報(bào)道，Olympus Integrated Technologies America近期發(fā)布了一款新型300mm圓片光學(xué)全頂、邊緣、傾角和背端缺陷檢測(cè)系統(tǒng)。該公司以前的檢測(cè)系統(tǒng)不含有傾角檢測(cè)能力，傾角檢測(cè)將通過(guò)連續(xù)角度調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)最佳成像和缺陷探測(cè)。AL3300光學(xué)檢測(cè)、缺陷探測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)每小時(shí)180圓片的產(chǎn)能，同時(shí)具有較小的和靈活的占地面積。該公司表示，精細(xì)觀察可以在多種波長(zhǎng)照明下完成，例如探測(cè)玷污、擦痕等缺陷和薄膜厚度變化等微缺陷。通過(guò)微型照相機(jī)可以自動(dòng)獲得圓片的1X圖像。AL3300完全適用于GEM300系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)用戶自動(dòng)設(shè)備的無(wú)損傷檢測(cè)。