氦氣檢漏儀的工作原理

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.

離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.

分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同；

在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上.

收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器.通過測量離子流就可知漏率.

冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力保護裝置.