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大日本網(wǎng)屏制造投產(chǎn)150mm晶圓外觀檢測裝置

時間：2010-12-07 06:14:00

關(guān)鍵字：晶圓 DNS 器件功率半導(dǎo)體

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[導(dǎo)讀]大日本網(wǎng)屏制造（DNS）開發(fā)出了晶圓外觀檢測裝置“ZI-2000”。在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕張Messe會展中心）上展出的同時，還將從2010年12月開始銷售。 DNS為了強化LED、太陽能電池、充電電

大日本網(wǎng)屏制造（DNS）開發(fā)出了晶圓外觀檢測裝置“ZI-2000”。在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕張Messe會展中心）上展出的同時，還將從2010年12月開始銷售。

DNS為了強化LED、太陽能電池、充電電池和功率半導(dǎo)體等“綠色器件”領(lǐng)域，強化了制造這些器件的裝置開發(fā)項目“FRONTIER”。作為其中的一環(huán)，該公司曾于2010年6月發(fā)布了適合制造LED和功率半導(dǎo)體使用的小口徑晶圓的批量晶圓清洗裝置“Compact Wet Station CW-1500”。

作為第二款產(chǎn)品，DNS此次又推出了晶圓外觀檢測裝置“ZI-2000”。該裝置主要面向多用于綠色器件的150mm晶圓。特點是，無論芯片面積和每枚晶圓的芯片數(shù)是多少，每枚晶圓的檢測時間可以控制在1分鐘以內(nèi)。檢測方式方面，采用對比晶圓上的圖案的方式。該方式采用了已用于該公司的印刷基板檢測裝置“PI系列”的比較算法。另外，采用減少了功能的簡單裝置設(shè)計，提高了性價比。（記者：長廣恭明）

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