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GlobalFoundries進軍大規(guī)模MEMS制造

時間：2010-10-14 06:34:00

關鍵字： MEMS GLOBALFOUNDRIES ARTICLE CMOS

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[導讀]GlobalFoundries宣布與SVTC Technologies合作，加速大規(guī)模MEMS制造的進程，目標是成為MEMS代工業(yè)的領導者。GlobalFoundries表示要將其MEMS工藝發(fā)展成類似于CMOS的標準工藝。相關鏈接：http://www.edn.com/article/51

GlobalFoundries宣布與SVTC Technologies合作，加速大規(guī)模MEMS制造的進程，目標是成為MEMS代工業(yè)的領導者。

GlobalFoundries表示要將其MEMS工藝發(fā)展成類似于CMOS的標準工藝。

相關鏈接：

http://www.edn.com/article/510924-GlobalFoundries_looks_high_volume_manufacturing_of_MEMS.php

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