在政策支持和資金補貼的大力支持下，中國大陸的MOCVD設備需求量和增速居世界首位，但長久以來設備市場一直被國際兩大MOCVD廠商德國AIXTRON和美國VEECO占據壟斷地位。擺脫對進口設備的依賴，實現MOCVD設備的國產化，不僅是企業(yè)的需求、市場的需求，更是整個產業(yè)的需求。科技部發(fā)布的《半導體照明產業(yè)“十二五”規(guī)劃》中也提出，到2015年，大型MOCVD裝備、關鍵原材料將實現國產化。

其實，國內不少企業(yè)和研究機構一直致力于MOCVD設備的研究，但大多是研制出樣機之后便無下文。國產MOCVD設備一直在量產化和“賣出第一臺設備”上困難叢叢。雖然在走向市場的過程中有些緩慢，但歷經幾年的艱辛研發(fā)和技術攻關，國產MOCVD廠商，比如廣東昭信半導體、理想新能源、中科宏微、中晟光電、中微半導體、思捷愛普等在內的多家企業(yè)不僅推出了首臺設備，還在市場化和量產方面成功的邁出了第一步。

下面，我們就回顧一下，2013年國產MOCVD設備廠商都取得了哪些喜人的進展?

一、理想能源MOCVD設備于璨揚光電正式投入試量產

2013年10月18日，理想能源設備(上海)有限公司與璨圓光電股份有限公司聯合宣布：理想能源MOCVD設備已于臺灣璨圓光電股份有限公司位于揚州的子公司-江蘇璨揚光電有限公司的外延工廠正式投入試量產。 這是繼2012年12月具有國際尖端技術水平的首臺MOCVD設備下線之后，理想能源與璨圓光電攜手在國產MOCVD設備產業(yè)化方面取得的又一重大突破，實現了MOCVD設備完全自制化。

二、中晟光電大型MOCVD設備ProMaxyTM正式進入市場

2013年3月19日，中晟光電設備(上海)有限公司正式發(fā)布大型 MOCVD 設備 ProMaxyTM 進入市場。已有客戶接受多腔 ProMaxyTM 并調試進展順利。此外，多家客戶對 ProMaxyTM完成了現場驗機與評估。

三、中微MOCVD設備技術性突破大獲LED業(yè)界認可

中微MOCVD設備Prismo D-Blue?第十五屆中國國際工業(yè)博覽會(簡稱“工博會”)上榮獲銀獎。該產品于今年3月正式發(fā)布，是此次獲獎產品中唯一代表半導體外延工藝的MOCVD設備，該產品技術對于高亮度LED的大規(guī)模生產至關重要。上海藍光科技有限公司是中微MOCVD設備的第一批用戶之一，藍光公司技術和質量管理副總裁郝茂盛博士特別提出：“中微的設備性能超出了我們的預期，達到了MOCVD設備所應具備的高工藝標準?！?/p>

四、昭信半導體MOCVD設備正式交付量晶光電

2013年7月，昭信半導體迎來了發(fā)展歷程上的又一個春天，公司定位于廣東量晶光電科技有限公司的首臺生產型MOCVD設備通過驗收，正式交付量晶光電。這是昭信半導體MOCVD設備邁出市場化進程重要一步的又一個歷史性時刻。

相比前些年，國產mocvd設備廠商研制出樣機的新聞，今年有關國產MOCVD量產和交付使用的新聞逐漸成為主流。這從整體上說明了我國國產mocvd設備逐步被市場接受和認可。但在設備的穩(wěn)定性、產品品質的一致性、設備的易操作性、交付使用后的設備調整使用以及服務方面，特別是幫助外延芯片企業(yè)降低生產成本、提升產品品質、提升市場的普遍認可度等方面，國產MOCVD設備廠商還有很長一段路要走。