【導(dǎo)讀】先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車(chē)電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)”針對(duì)汽車(chē)電子應(yīng)用需求，對(duì)MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，開(kāi)發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級(jí)封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計(jì)芯片，攻克了數(shù)字化陀螺儀電路設(shè)計(jì)和加速度計(jì)ASIC電路設(shè)計(jì)技術(shù)和預(yù)成型空腔塑封封裝技術(shù)，研制出了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計(jì)產(chǎn)品。

摘要：  先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車(chē)電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)”針對(duì)汽車(chē)電子應(yīng)用需求，對(duì)MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，開(kāi)發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級(jí)封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計(jì)芯片，攻克了數(shù)字化陀螺儀電路設(shè)計(jì)和加速度計(jì)ASIC電路設(shè)計(jì)技術(shù)和預(yù)成型空腔塑封封裝技術(shù)，研制出了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計(jì)產(chǎn)品。

關(guān)鍵字：  傳感器，MEMS傳感器，ESP系統(tǒng)

先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車(chē)電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)”針對(duì)汽車(chē)電子應(yīng)用需求，對(duì)MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，開(kāi)發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級(jí)封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計(jì)芯片，攻克了數(shù)字化陀螺儀電路設(shè)計(jì)和加速度計(jì)ASIC電路設(shè)計(jì)技術(shù)和預(yù)成型空腔塑封封裝技術(shù)，研制出了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計(jì)產(chǎn)品。

該課題突破了6英寸MEMS傳感器芯片工藝技術(shù)，采用了PCM監(jiān)控和SPC控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了微傳感器關(guān)鍵工藝參數(shù)的在線監(jiān)測(cè)，建立了微傳感器圓片在片自動(dòng)測(cè)試平臺(tái)，掌握了MEMS傳感器批量化制造技術(shù)，MEMS陀螺儀芯片加工成品率達(dá)到80%，MEMS加速度計(jì)芯片成品率達(dá)到90%。研制出基于MEMS陀螺儀和加速度傳感器的汽車(chē)ESP系統(tǒng)，完成了硬件和算法的初步研究，ESP系統(tǒng)的匹配試驗(yàn)和搭載驗(yàn)證，ESP系統(tǒng)的路試和抗干擾試驗(yàn)。

同時(shí)，驗(yàn)證了MEMS傳感器的性能與可靠性滿足了ESP系統(tǒng)的要求。該課題已申請(qǐng)4項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利。